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    Passivation/patterning of PZR diamond films for high temperature operability
    1.
    发明授权
    Passivation/patterning of PZR diamond films for high temperature operability 失效
    钝化/图案化PZR金刚石薄膜，以实现高温可操作性

    公开(公告)号：US5622902A

    公开(公告)日：1997-04-22

    申请号：US615458

    申请日：1996-03-14

    申请人： Anthony D. Kurtz ,  Alexander A. Ned ,  Timoteo I. Vergel de Dios

    发明人： Anthony D. Kurtz ,  Alexander A. Ned ,  Timoteo I. Vergel de Dios

    IPC分类号： G01L9/00 ,  H01L21/314 ,  H01L21/31 ,  H01L21/77

    CPC分类号： H01L21/314 ,  G01L9/0055 ,  Y10S438/958

    摘要： A method for passivating diamond films to substantially prevent them from oxidizing at temperatures up to 800.degree. C. in an oxygen atmosphere. The method involves depositing one or more passivating layers over the diamond film wherein one of the layers is nitride and the other layer is quartz. The passivation technique is directly applicable to diamond sensor pressure transducers and enable them to operate at temperatures above 800.degree. C. in oxygen environments. The passivation technique also provides an economical and simple method for patterning diamond films.

    摘要翻译： 一种钝化金刚石膜的方法，以在氧气氛中基本上防止其在高达800℃的温度下氧化。 该方法包括在金刚石膜上沉积一个或多个钝化层，其中一层是氮化物，另一层是石英。 钝化技术直接适用于金刚石传感器压力传感器，使其能够在氧气环境中高于800℃的温度下工作。 钝化技术还提供了用于图案化金刚石膜的经济且简单的方法。

    Passivation/patterning of PZR diamond films for high temperature transducer operability
    2.
    发明授权
    Passivation/patterning of PZR diamond films for high temperature transducer operability 失效
    用于高温传感器可操作性的PZR金刚石膜的钝化/图案化

    公开(公告)号：US5750898A

    公开(公告)日：1998-05-12

    申请号：US727882

    申请日：1996-10-09

    申请人： Anthony D. Kurtz ,  Alexander A. Ned ,  Timoteo I. Vergel de Dios

    发明人： Anthony D. Kurtz ,  Alexander A. Ned ,  Timoteo I. Vergel de Dios

    IPC分类号： G01L9/00 ,  H01L21/314 ,  G01L9/06

    CPC分类号： H01L21/314 ,  G01L9/0055 ,  Y10S438/958

    摘要： A method for passivating diamond films to substantially prevent them from oxidizing at temperatures up to 800.degree. C. in an oxygen atmosphere. The method involves depositing one or more passivating layers over the diamond film wherein one of the layers is nitride and the other layer is quartz. The passivation technique is directly applicable to diamond sensor pressure transducers and enable them to operate at temperatures above 800.degree. C. in oxygen environments. The passivation technique also provides an economical and simple method for patterning diamond films.

    摘要翻译： 一种钝化金刚石膜的方法，以在氧气氛中基本上防止其在高达800℃的温度下氧化。 该方法包括在金刚石膜上沉积一个或多个钝化层，其中一层是氮化物，另一层是石英。 钝化技术直接适用于金刚石传感器压力传感器，使其能够在氧气环境中高于800℃的温度下工作。 钝化技术还提供了用于图案化金刚石膜的经济且简单的方法。