公开(公告)号：US20030014155A1

公开(公告)日：2003-01-16

申请号：US10201490

申请日：2002-07-22

申请人： Applied Material, Inc.

发明人： Chris Holt Pencis ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Damon Keith Cox ,  Michael Rice ,  James R. Ciulik

IPC分类号： G06F007/00

CPC分类号： B25J9/0009 ,  B25J9/107 ,  B25J9/1628 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/49169 ,  G05B2219/49207 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68

摘要： Generally, a robot for transferring a substrate in a processing system is provided. In one embodiment, a robot for transferring a substrate in a processing system includes a body, a linkage and an end effector that is adapted to retain the substrate thereon. The linkage couples the end effector to the body. The end effector and/or the linkage is comprised of a material having a coefficient of thermal expansion less than 5null10null6 Knull1. In another embodiment, the end effector and/or the linkage is comprised of a material having a ratio of thermal conductivity/thermal expansion greater than 1null107 W/(mnullK2). In yet another embodiment, the end effector and/or the linkage is comprised of a material having a ratio of thermal conductivity/thermal expansion greater than 1null107 W/(mnullK2) and a fracture toughness greater than 1null106 Pa m0.5.

摘要翻译： 通常，提供了用于在处理系统中传送基板的机器人。 在一个实施例中，用于在处理系统中传送衬底的机器人包括主体，连杆以及适于将衬底保持在其上的端部执行器。 连杆将末端执行器连接到身体。 端部执行器和/或连杆由具有小于5×10 -6 K -1的热膨胀系数的材料组成。 在另一个实施例中，末端执行器和/或连杆由具有大于1×107W /（m.K2）的热导率/热膨胀率的材料组成。 在另一个实施例中，端部执行器和/或连杆由具有大于1×10 7 W /（m.K 2）的热导率/热膨胀比和大于1×10 6 Pa m0.5的断裂韧性的材料构成。