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    Method and apparatus for correcting deflection of a movable member
    1.
    发明授权
    Method and apparatus for correcting deflection of a movable member 失效
    用于校正可动构件偏转的方法和装置

    公开(公告)号：US5053973A

    公开(公告)日：1991-10-01

    申请号：US383527

    申请日：1989-07-24

    申请人： Shigeharu Fujii ,  Akira Ochiai ,  Akio Fujii

    发明人： Shigeharu Fujii ,  Akira Ochiai ,  Akio Fujii

    IPC分类号： B23Q15/24 ,  B23Q1/00 ,  B23Q1/72 ,  G05B19/404

    CPC分类号： G05B19/404 ,  G05B2219/39176 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/41036 ,  G05B2219/41309 ,  G05B2219/49195

    摘要： In an apparatus for correcting deflection produced in a construction due to the weight of the construction or movement of a movable member supported by the construction, a condition data representing the deflection associated with the moved position of the movable member is stored in a memory section of a correction controller. The movement of the movable member is detected by a position detector and a position signal is generated from the position detector. A command signal is supplied to a calculator and the position signal is received in the calculator synchronized with the command signal. The condition data is accessed by the calculator with the received position signal and is processed into a correction data. A correction data is supplied to a proportional control electromagnetic valve and a hydraulic cylinder for applying a force onto the construction is regulated by the valve to correct the deflection of the construction.

    摘要翻译： 在用于校正结构中产生的偏转的装置中，由于构造所支撑的可动构件的重量或移动的重量，表示与可移动构件的移动位置相关联的偏转的条件数据被存储在 校正控制器。 通过位置检测器检测可动部件的移动，从位置检测器产生位置信号。 向计算器提供命令信号，并且与计时器同步地接收位置信号。 条件数据由具有接收到的位置信号的计算器访问，并被处理成校正数据。 校正数据被提供给比例控制电磁阀，并且用于向结构施加力的液压缸由阀调节以校正结构的偏转。

    APPARATUS FOR DETERMINING WHETHER MANIPULATOR IS OPERABLE
    2.
    发明申请
    APPARATUS FOR DETERMINING WHETHER MANIPULATOR IS OPERABLE 审中-公开

    公开(公告)号：US20180178384A1

    公开(公告)日：2018-06-28

    申请号：US15851921

    申请日：2017-12-22

    申请人： DENSO WAVE INCORPORATED

    发明人： Daisuke KAWASE

    IPC分类号： B25J9/16 ,  B25J9/06

    CPC分类号： B25J9/1674 ,  B25J9/06 ,  B25J9/163 ,  B25J9/1697 ,  B25J13/08 ,  G05B2219/39192

    摘要： In an apparatus for determining whether a manipulator is operable, a rotational angle calculator performs, based on a length of each of first and second links at a specified temperature of a manipulator, a calculation operation to calculate a target rotational angle of at least one of the first and second links based on a joint. The target rotational angle of at least one of the first and second links based on operation of the joint is required for a predetermined point of the manipulator to be moved toward a setting movement position. A determiner determines, based on the target rotational angle of at least one of the first and second links, whether the predetermined point of the manipulator is movable to the setting movement position at the specified temperature of the manipulator.

    High temperature substrate transfer robot
    3.
    发明申请
    High temperature substrate transfer robot 审中-公开
    高温基板传送机器人

    公开(公告)号：US20030014155A1

    公开(公告)日：2003-01-16

    申请号：US10201490

    申请日：2002-07-22

    申请人： Applied Material, Inc.

    发明人： Chris Holt Pencis ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Damon Keith Cox ,  Michael Rice ,  James R. Ciulik

    IPC分类号： G06F007/00

    CPC分类号： B25J9/0009 ,  B25J9/107 ,  B25J9/1628 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/49169 ,  G05B2219/49207 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68

    摘要： Generally, a robot for transferring a substrate in a processing system is provided. In one embodiment, a robot for transferring a substrate in a processing system includes a body, a linkage and an end effector that is adapted to retain the substrate thereon. The linkage couples the end effector to the body. The end effector and/or the linkage is comprised of a material having a coefficient of thermal expansion less than 5null10null6 Knull1. In another embodiment, the end effector and/or the linkage is comprised of a material having a ratio of thermal conductivity/thermal expansion greater than 1null107 W/(mnullK2). In yet another embodiment, the end effector and/or the linkage is comprised of a material having a ratio of thermal conductivity/thermal expansion greater than 1null107 W/(mnullK2) and a fracture toughness greater than 1null106 Pa m0.5.

    摘要翻译： 通常，提供了用于在处理系统中传送基板的机器人。 在一个实施例中，用于在处理系统中传送衬底的机器人包括主体，连杆以及适于将衬底保持在其上的端部执行器。 连杆将末端执行器连接到身体。 端部执行器和/或连杆由具有小于5×10 -6 K -1的热膨胀系数的材料组成。 在另一个实施例中，末端执行器和/或连杆由具有大于1×107W /（m.K2）的热导率/热膨胀率的材料组成。 在另一个实施例中，端部执行器和/或连杆由具有大于1×10 7 W /（m.K 2）的热导率/热膨胀比和大于1×10 6 Pa m0.5的断裂韧性的材料构成。

    Method for determining a position of a robot
    4.
    发明授权
    Method for determining a position of a robot 有权
    用于确定机器人的位置的方法

    公开(公告)号：US06556887B2

    公开(公告)日：2003-04-29

    申请号：US09905091

    申请日：2001-07-12

    申请人： Marvin L. Freeman ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Damon Keith Cox ,  Chris Holt Pencis ,  Michael Rice ,  David A. Van Gogh

    发明人： Marvin L. Freeman ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Damon Keith Cox ,  Chris Holt Pencis ,  Michael Rice ,  David A. Van Gogh

    IPC分类号： G06F700

    CPC分类号： H01L21/67259 ,  B25J9/0009 ,  B25J9/107 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/49169 ,  G05B2219/49207 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139

    摘要： Generally, a method of determining a position of a robot is provided. In one embodiment, a method of determining a position of a robot comprises acquiring a first set of positional metrics, acquiring a second set of positional metrics and resolving the position of the robot due to thermal expansion using the first set and the second set of positional metrics. Acquiring the first and second set of positional metrics may occur at the same location within a processing system, or may occur at different locations. For example, in another embodiment, the method may comprise acquiring a first set of positional metrics at a first location proximate a processing chamber and acquiring a second set of positional metrics in another location. In another embodiment, substrate center information is corrected using the determined position of the robot.

    摘要翻译： 通常，提供了一种确定机器人的位置的方法。 在一个实施例中，一种确定机器人位置的方法包括获取第一组位置度量，获取第二组位置度量并且利用第一组和第二组位置来解决由于热膨胀引起的机器人的位置 指标 获取第一和第二组位置度量可以发生在处理系统内的相同位置处，或者可以在不同位置处发生。 例如，在另一个实施例中，该方法可以包括在靠近处理室的第一位置获取第一组位置度量，并在另一位置获取第二组位置度量。 在另一个实施例中，使用所确定的机器人的位置校正基板中心信息。

    ROBOT CONTROLLING METHOD, ROBOT APPARATUS, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM
    7.
    发明申请
    ROBOT CONTROLLING METHOD, ROBOT APPARATUS, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM 审中-公开
    机器人控制方法，机器人装置，程序和记录介质

    公开(公告)号：US20160297069A1

    公开(公告)日：2016-10-13

    申请号：US15078380

    申请日：2016-03-23

    申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA

    发明人： Mahito Negishi

    IPC分类号： B25J9/16

    CPC分类号： B25J9/1638 ,  B25J9/1692 ,  G05B2219/37431 ,  G05B2219/39176 ,  G05B2219/39191 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/39206

    摘要： A controlling unit obtains an error in position and orientation of each joint of a robot. The controlling unit uses an error component in a driving direction of an actuator included in the error in position and orientation ui of the joint to obtain a first correction quantity, to obtain a residual error excluding the error component in the driving direction of the actuator from the error in position and orientation of the joint, and to obtain—an error in position and orientation of the end point of the robot based on the residual error of each joint. The controlling unit uses the error in position and orientation of the joint based on the error in position and orientation of the end point of the robot to obtain a second correction quantity Δqi, and uses the first correction quantity and the second correction quantity to correct a joint instruction value.

    摘要翻译： 控制单元获得机器人的每个接头的位置和方向的误差。 控制单元使用包括在关节的位置和方向ui的误差中的致动器的驱动方向上的误差分量来获得第一校正量，以获得除了致动器的驱动方向上的误差分量之外的残差， 根据每个关节的残余误差，获得关节位置和方向的误差，并获得机器人端点的位置和方位误差。 控制单元基于机器人的终点的位置和方向的误差来使用接头的位置和取向的误差，以获得第二校正量Δqi，并且使用第一校正量和第二校正量来校正 联合指令值。

    Method for determining a position of a robot
    10.
    发明申请
    Method for determining a position of a robot 有权
    用于确定机器人的位置的方法

    公开(公告)号：US20040199291A1

    公开(公告)日：2004-10-07

    申请号：US10406644

    申请日：2003-04-03

    申请人： Applied Materials, Inc.

    发明人： Marvin L. Freeman ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Damon Keith Cox ,  Chris Holt Pencis ,  Michael Rice ,  David A. Van Gogh

    IPC分类号： G06F019/00

    CPC分类号： H01L21/67259 ,  B25J9/0009 ,  B25J9/107 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39192 ,  G05B2219/49169 ,  G05B2219/49207 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139

    摘要： Generally, a method of determining a position of a robot is provided. In one embodiment, a method of determining a position of a robot comprises acquiring a first set of positional metrics, acquiring a second set of positional metrics and resolving the position of the robot due to thermal expansion using the first set and the second set of positional metrics. Acquiring the first and second set of positional metrics may occur at the same location within a processing system, or may occur at different locations. For example, in another embodiment, the method may comprise acquiring a first set of positional metrics at a first location proximate a processing chamber and acquiring a second set of positional metrics in another location. In another embodiment, substrate center information is corrected using the determined position of the robot.

    摘要翻译： 通常，提供了一种确定机器人的位置的方法。 在一个实施例中，一种确定机器人位置的方法包括获取第一组位置度量，获取第二组位置度量并且利用第一组和第二组位置来解决由于热膨胀引起的机器人的位置 指标 获取第一和第二组位置度量可以发生在处理系统内的相同位置处，或者可以在不同位置处发生。 例如，在另一个实施例中，该方法可以包括在靠近处理室的第一位置获取第一组位置度量，并在另一位置获取第二组位置度量。 在另一个实施例中，使用所确定的机器人的位置校正基板中心信息。