公开(公告)号：US3650921A

公开(公告)日：1972-03-21

申请号：US3650921D

申请日：1970-06-15

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： PETERS FRANK GROOM ,  SINCLAIR WILLIAM ROBERT ,  SULLIVAN MILES VINCENT

IPC: G03F1/54 ,  G03F1/68 ,  C23C15/00

CPC classification number: G03F1/54 ,  G03F1/50

Abstract: A TECHNIQUE FOR THE PREPARATION IRON OXIDE FILMS DESTINED FOR USE AS PHOTOMASKS FOR THIN FILM AND SEMICONDUCTOR PROCESSING INVOLVES SPUTTERING IRON OXIDE IN A CARBON DIOXIDE AMBIENT UPON AN ELECTRICALLY ISOLATED SUBSTRATE MEMBER.

Abstract translation: 1346814溅射氧化铁WESTERN ELECTRIC CO公司1971年6月9日[1970年6月15日] 19691/71标题C7F [也在G2部分]光掩模是通过阴极溅射基底上的一层氧化铁在包含至少3％ 体积二氧化碳，然后蚀刻。 优选将亚铁或三氧化铁（例如，3480A厚的Fe 2 O 3膜）溅射到冷却的玻璃基板上，在3-100％CO 2的气氛中任选与稀有气体混合，使用10 - 1 至10 -3 Torr，使用1-5kV的DC偏置RF电位和至少0-1兆兆频率。