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发明授权
Methods for uncorrelated evaluation of parameters in parameterized mathematical model equations for lens retardance, in ellipsometry and polarimetry systems 有权
标题翻译：用于透镜延迟，椭偏仪和偏光系统的参数化数学模型方程中参数的不相关评估方法

公开(公告)号：US06549282B1

公开(公告)日：2003-04-15

申请号：US09419794

申请日：1999-10-18

申请人： Blaine D. Johs , Craig M. Herzinger , Ping He , Martin M. Ciphardt

发明人： Blaine D. Johs , Craig M. Herzinger , Ping He , Martin M. Ciphardt

IPC分类号： G01B1106

CPC分类号： G01J3/447 , G01J3/14 , G01N21/211

摘要： Disclosed are ellipsometer and polarimeter systems which have multi-element input and output lenses that demonstrate essentially the same focal length at each wavelength in a spectroscopic range of wavelengths.

摘要翻译： 公开了具有多元素输入和输出透镜的椭偏仪和偏振计系统，其在波长范围内的每个波长处显示出基本上相同的焦距。