公开(公告)号：US08497565B2

公开(公告)日：2013-07-30

申请号：US13043066

申请日：2011-03-08

申请人： Byron Lovell Willaims ,  Maxwell Walthour Lippitt, III ,  Betty Mercer ,  Scott Montgomery ,  Binghua Hu

发明人： Byron Lovell Willaims ,  Maxwell Walthour Lippitt, III ,  Betty Mercer ,  Scott Montgomery ,  Binghua Hu

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L28/91

摘要： In a disclosed embodiment, a stacked capacitor (100) has bottom, middle and top metal electrode layers (141A, 141B, 141C) interleaved with dielectric layers (142A, 142B) conformally disposed within holes (140A, 140B, 140C) in a protective overcoat or backend dielectric layer (110) over a top metal layer (115) of an integrated circuit (105). A top electrode (155) contacts the top metal electrode layer (141C). A bottom electrode (150) electrically couples an isolated part of the top metal electrode layer (141C) through a bottom electrode via (165A) to a first contact node (135A) in the top metal layer (115) which is in contact with the bottom metal electrode layer (141A). A middle electrode (160) electrically couples a part of the middle metal electrode layer (141B) not covered by the top metal layer (115) through a middle electrode via (165B) to a second contact node (135B) in the top metal electrode layer (115). The sidewalls of the top and middle electrode vias (165A, 165B) are lined with insulating material to electrically isolate the metal electrode layer ends.

摘要翻译： 在公开的实施例中，叠层电容器（100）具有与保护性地设置在保护孔（140A，140B，140C）内的电介质层（142A，142B）交错的底部，中间和顶部金属电极层（141A，141B，141C） 外部涂层或后端电介质层（110）覆盖在集成电路（105）的顶部金属层（115）上。 顶部电极（155）接触顶部金属电极层（141C）。 底部电极（150）通过（165A）将顶部金属电极层（141C）的隔离部分电耦合到顶部金属层（115）中与第一接触节点（135A）接触的第一接触节点（135A） 底部金属电极层（141A）。 中间电极（160）将未被顶部金属层（115）覆盖的中间金属电极层（141B）的一部分通过中间电极（165B）电耦合到顶部金属电极中的第二接触节点（135B） 层（115）。 顶部和中间电极通孔（165A，165B）的侧壁衬有绝缘材料以电绝缘金属电极层端部。