公开(公告)号：US20150034826A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US13956156

申请日：2013-07-31

申请人： Craig Prater ,  Kevin Kjoller ,  Doug Gotthard ,  Qichi Hu

发明人： Craig Prater ,  Kevin Kjoller ,  Doug Gotthard ,  Qichi Hu

IPC分类号： G01Q60/30 ,  G01N21/35

摘要： Described are techniques for obtaining spectroscopic information from sub-micron regions of a sample using a probe microscope. The current invention uses the response of an AFM cantilever at a plurality of frequencies to substantially reduce the impact of background absorption away from the sub-micron region of interest. This innovation substantially improves the quality of spectra for top down illumination of samples that are not suitable for bottoms up illumination of the prior art.

摘要翻译： 描述的是使用探针显微镜从样品的亚微米区域获得光谱信息的技术。 本发明使用AFM悬臂在多个频率下的响应基本上减少背景吸收远离感兴趣的亚微米区域的影响。 该创新大大提高了不适用于现有技术的底部照明的样品的自顶向下照射的光谱质量。