公开(公告)号：US07319079B2

公开(公告)日：2008-01-15

申请号：US10949785

申请日：2004-09-24

申请人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Ajit Sane

发明人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Ajit Sane

IPC分类号： C04B35/5835 ,  C04B35/58

CPC分类号： C04B35/58 ,  C04B35/58064 ,  C04B35/583 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3813 ,  C04B2235/3817 ,  C04B2235/3852 ,  C04B2235/386 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/404 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9676

摘要： A refractory container for evaporating metals, having significantly improved useful life and corrosion resistance properties, said container consists essentially of a refractory boride, boron nitride, and about 0.10 to 10 wt. % of a rare earth metal compound selected from one of an oxide, a nitride, a carbide, or mixtures thereof.

摘要翻译： 用于蒸发金属的耐火容器具有显着改善的使用寿命和耐腐蚀性能，所述容器主要由耐火硼化物，氮化硼和约0.10至10wt。 ％的选自氧化物，氮化物，碳化物或其混合物中的一种稀土金属化合物。

公开(公告)号：US07494616B2

公开(公告)日：2009-02-24

申请号：US11266796

申请日：2005-11-04

申请人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Ajit Sane ,  Gary Zayas

发明人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Ajit Sane ,  Gary Zayas

IPC分类号： B01D7/00

CPC分类号： C23C14/243 ,  F27D5/0068

摘要： A refractory container for evaporating metals, having improved useful life and corrosion resistance properties, the evaporation surface of the container having a plurality of grooves formed at the bottom surface. The grooves have either a depth of at least 1.2 mm, a width of at least 1.75 mm, or an interval spacing of at least 2.2 mm between adjacent grooves (or centers of adjacent grooves), and combinations thereof.

摘要翻译： 一种用于蒸发金属的耐火容器，具有改善的使用寿命和耐腐蚀性能，容器的蒸发表面具有形成在底表面的多个凹槽。 凹槽在相邻凹槽（或相邻凹槽的中心）之间具有至少1.2mm的深度，至少1.75mm的宽度或至少2.2mm的间隔间隔，以及它们的组合。

公开(公告)号：US07929269B2

公开(公告)日：2011-04-19

申请号：US12204079

申请日：2008-09-04

申请人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Marc Schaepkens ,  Wanxue Zeng

发明人： David Michael Rusinko, Jr. ,  Marc Schaepkens ,  Wanxue Zeng

IPC分类号： H01T23/00

CPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833

摘要： An article with an etch resistant coating is disclosed. The article is a heating element, wafer carrier, or electrostatic chuck. The article has a base substrate made of a ceramic or other material, and further has one or more electrodes for resistance heating or electromagnetic chucking or both. The eth resistant coating has a plurality of regions made from materials having different electrical volume resistivities, such that the overall coating has a bulk resistivity that can be tailored by varying the relative size of each region.

摘要翻译： 公开了具有耐蚀刻涂层的物品。 该物品是加热元件，晶片载体或静电卡盘。 该制品具有由陶瓷或其他材料制成的基底，并且还具有用于电阻加热或电磁夹持的两个或更多个电极。 耐腐蚀涂层具有由具有不同电体积电阻率的材料制成的多个区域，使得整个涂层具有可以通过改变每个区域的相对尺寸来调整的体电阻率。