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    Fluid nozzle system and method in an emitted energy system for photolithography
    1.
    发明授权
    Fluid nozzle system and method in an emitted energy system for photolithography 失效
    用于光刻的发射能量系统中的流体喷嘴系统和方法

    公开(公告)号：US06437349B1

    公开(公告)日：2002-08-20

    申请号：US09598664

    申请日：2000-06-20

    申请人： Edwin G. Haas ,  Robert M. Gutowski ,  Vincent S. Calia

    发明人： Edwin G. Haas ,  Robert M. Gutowski ,  Vincent S. Calia

    IPC分类号： H05H134

    CPC分类号： H05G2/003 ,  B05B1/005 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70858 ,  H05G2/006

    摘要： An emitted energy system for use in photolithography may include a fluid nozzle. A nozzle and its method of manufacture are provided. A nozzle (22) may include a nozzle cavity (110) disposed within a nozzle body (100) between an up-stream end (102) and a down-stream end (104). A nozzle passage (118) may be defined within the nozzle cavity (110) and extend a longitudinal length (120) from the down-stream end (104) of the nozzle body (100) into the nozzle cavity (110). A discharge orifice (124) may also be defined at the down-stream end (104) of the nozzle cavity (110) and have an associated width (126). The width (126) of the discharge orifice (124) may be substantially less than the longitudinal length (120) of the nozzle passage (118).

    摘要翻译： 用于光刻的发射能量系统可以包括流体喷嘴。 提供喷嘴及其制造方法。 喷嘴（22）可以包括设置在上游端（102）和下游端（104）之间的喷嘴体（100）内的喷嘴腔（110）。 喷嘴通道（118）可以限定在喷嘴空腔（110）内并且将纵向长度（120）从喷嘴体（100）的下游端（104）延伸到喷嘴腔（110）中。 排出口（124）也可以限定在喷嘴腔（110）的下游端（104）处，并且具有相关联的宽度（126）。 排出孔（124）的宽度（126）可以基本上小于喷嘴通道（118）的纵向长度（120）。

    Method of manufacturing very small diameter deep passages
    2.
    发明授权
    Method of manufacturing very small diameter deep passages 失效
    制造非常小直径的深通道的方法

    公开(公告)号：US6065203A

    公开(公告)日：2000-05-23

    申请号：US54987

    申请日：1998-04-03

    申请人： Edwin G. Haas ,  Robert M. Gutowski ,  Vincent S. Calia

    发明人： Edwin G. Haas ,  Robert M. Gutowski ,  Vincent S. Calia

    IPC分类号： B05B1/00 ,  G03F7/20 ,  H05G2/00 ,  B21D39/00

    CPC分类号： H05G2/003 ,  B05B1/005 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70858 ,  Y10T29/49908

    摘要： A method of fabricating very small diameter deep passages is provided. The method of fabricating very small diameter deep passages may include fabricating a recess (206) in a first side (202) of an article (200). An article passage (216) may be fabricated between a second side (204) of the article (200) and the recess (206). An insert (220) may be provided sized to fit the recess (206). An insert passage (230) may be fabricated in the insert (220). The insert (220) may then be secured in the recess (206), with the insert passage (230) and the article passage (216) aligned.

    摘要翻译： 提供了制造非常小直径的深通道的方法。 制造非常小直径的深通道的方法可以包括在物品（200）的第一侧（202）中制造凹部（206）。 物品通道（216）可以在制品（200）的第二侧（204）和凹部（206）之间制造。 可以提供尺寸设计成适合凹部（206）的插入件（220）。 可以在插入件（220）中制造插入通道（230）。 插入件（220）然后可以被固定在凹槽（206）中，插入通道（230）和制品通道（216）对齐。

    Orifice ring ion beam neutralizer
    6.
    发明授权
    Orifice ring ion beam neutralizer 失效
    孔环离子束中和剂

    公开(公告)号：US4933546A

    公开(公告)日：1990-06-12

    申请号：US235074

    申请日：1988-08-23

    申请人： Eric P. Muntz ,  John W. Brook ,  Vincent S. Calia

    发明人： Eric P. Muntz ,  John W. Brook ,  Vincent S. Calia

    IPC分类号： H05H3/02

    CPC分类号： H05H3/02

    摘要： A beam of negatively charged ions is neutralized by impinging jets which dislodge elctrode electrons from the ions. Gas jets are created by orifices circumferentially located around a ring. The symmetrical radial distribution of the orifices does not create a net radial thrust on the ring, which is an important consideration in low-gravity outer space. Further, maximized gas dynamics creates a neutralized beam with a uniform gas density at the exit thereof and an optimized neutralized ion fraction, as compared with the population of ions in the introduced beam.

    摘要翻译： 带负电荷的离子束通过冲击射流中和，其从离子中去除电子的电子。 气体喷嘴由环周围的孔创建。 孔的对称径向分布不会在环上产生净径向推力，这在低重力外层空间是重要的考虑因素。 此外，最大化的气体动力学在出口处产生具有均匀气体密度的中和束，并且与引入的束中的离子群相比，产生优化的中和离子分数。

    Method and apparatus for monitoring an electrically actuated tool
    7.
    发明授权
    Method and apparatus for monitoring an electrically actuated tool 失效
    用于监测电动工具的方法和装置

    公开(公告)号：US3962694A

    公开(公告)日：1976-06-08

    申请号：US556169

    申请日：1975-03-06

    申请人： Vincent S. Calia ,  Basil P. Leftheris

    发明人： Vincent S. Calia ,  Basil P. Leftheris

    IPC分类号： G01R15/18 ,  G01R19/165 ,  H02H3/44 ,  H02H11/00 ,  G08B21/00

    CPC分类号： G01R19/16571 ,  G01R15/183 ,  H02H11/005 ,  H02H3/44

    摘要： A method and apparatus for monitoring an electrically actuated tool. The current flowing in the tool circuit is sampled and converted to an analog voltage signal that is proportional to the maximum stress level output of the tool. This converted signal may be displayed and recorded as desired. The converted analog voltage signal is compared with signals representing the current flow that will produce the highest and lowest acceptable stress levels delivered by the tool and a logic control signal is produced if the analog voltage signal is outside the acceptable range. The logic control signal is used to prevent recycling of the tool so that subsequent tool operation is not possible until corrective procedures are instituted. Further, the logic control signal may be used to activate audio and visual indicators. Moreover, the logic control signal can be used to introduce a load into the total circuit to modify the current delivered to the tool and therefore change its output.

    摘要翻译： 一种用于监测电动工具的方法和装置。 在工具电路中流动的电流被采样并转换成与工具的最大应力电平输出成比例的模拟电压信号。 可以根据需要显示和记录该转换的信号。 将转换的模拟电压信号与表示将产生由工具传送的最高和最低可接受应力水平的电流的信号进行比较，并且如果模拟电压信号在可接受范围之外，则产生逻辑控制信号。 逻辑控制信号用于防止工具的回收，以便在校正程序之前不可能进行后续的工具操作。 此外，逻辑控制信号可以用于激活音频和视频指示器。 此外，逻辑控制信号可用于将总体电路中的负载引入到修改传递到工具的电流，从而改变其输出。