公开(公告)号：US07426420B2

公开(公告)日：2008-09-16

申请号：US11307288

申请日：2006-01-31

申请人： Eric Ted Dickstein ,  Alan Dziedzic ,  Richard Gerard Burda

发明人： Eric Ted Dickstein ,  Alan Dziedzic ,  Richard Gerard Burda

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32247 ,  G05B2219/35532 ,  G05B2219/45031 ,  G07F17/32 ,  G07F17/3262 ,  G07F17/3295 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/86 ,  Y10S707/99943

摘要： A system for dispatching a plurality of semiconductor lots among a plurality of tools is provided. The system includes a dispatch server manager and a dispatch integrator and display device. The dispatch integrator and display device conveys a dispatch request to the manager and receives a dispatch list from the manager. The manager queries for a processing status of the plurality of semiconductor lots and displays a dispatch list in response to the processing status. The dispatch list includes an associated reason and/or code related to the processing status.

摘要翻译： 提供了一种用于在多个工具中调度多个半导体块的系统。 该系统包括调度服务器管理器和调度集成器和显示设备。 调度积分器和显示设备向管理者传送调度请求，并从管理器接收调度列表。 管理者查询多个半导体块的处理状态，并响应处理状态显示调度列表。 调度列表包括与处理状态相关的相关原因和/或代码。