公开(公告)号：US20150108617A1

公开(公告)日：2015-04-23

申请号：US14126217

申请日：2012-06-12

申请人： Francoise Hervagault ,  Elaine Le Floch ,  Clemence Le Floch ,  Paul Le Floch

发明人： Arnaud Etcheberry ,  Anne-Marie Goncalves ,  Charles Mathieu ,  Jacky Vigneron ,  Nicolas Mezailles ,  Pascal Le Floch

IPC分类号： H01L21/322 ,  H01L29/06 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/3228 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02323 ,  H01L21/306 ,  H01L29/0607

摘要： A method for chemically passivating a surface of a product made of a III-V semiconductor material in which a) a P(N) polymer film is formed by deposition in a solvent comprising liquid ammonia. The film is formed by deposition, without electrochemical assistance, in the solvent, in the presence of an oxidizing chemical additive comprising phosphorous and generating electrical charge carriers in said surface.

摘要翻译： 一种化学钝化由III-V族半导体材料制成的产品的表面的方法，其中a）通过在包含液氨的溶剂中沉积形成P（N）聚合物膜。 该薄膜通过在溶剂中，在包含磷的氧化性化学添加剂和在所述表面中产生电荷载流子的存在下沉积而形成。

公开(公告)号：US09514961B2

公开(公告)日：2016-12-06

申请号：US14126217

申请日：2012-06-12

申请人： Arnaud Etcheberry ,  Anne-Marie Goncalves ,  Charles Mathieu ,  Jacky Vigneron ,  Nicolas Mézailles ,  Francoise Hervagault ,  Elaine Le Floch ,  Clémence Le Floch ,  Paul Le Floch

发明人： Arnaud Etcheberry ,  Anne-Marie Goncalves ,  Charles Mathieu ,  Jacky Vigneron ,  Nicolas Mézailles ,  Pascal Le Floch

IPC分类号： H01L21/322 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L29/06

CPC分类号： H01L21/3228 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02323 ,  H01L21/306 ,  H01L29/0607

摘要： A method for chemically passivating a surface of a product made of a III-V semiconductor material in which a) a P(N) polymer film is formed by deposition in a solvent comprising liquid ammonia. The film is formed by deposition, without electrochemical assistance, in the solvent, in the presence of an oxidizing chemical additive comprising phosphorous and generating electrical charge carriers in said surface.

摘要翻译： 一种化学钝化由III-V族半导体材料制成的产品的表面的方法，其中a）通过在包含液氨的溶剂中沉积形成P（N）聚合物膜。 该薄膜通过在溶剂中，在包含磷的氧化性化学添加剂和在所述表面中产生电荷载流子的存在下沉积而形成。