公开(公告)号：US20120091546A1

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：US13265535

申请日：2010-04-20

申请人： Geert Langereis ,  Twan Van Lippen ,  Freddy Roozeboom ,  Hilco Suy ,  Klaus Reimann ,  Jozef Thomas Martinus Van Beek ,  Casper Van Der Avoort ,  Johannes Van Wingerden ,  Kim Phan Le ,  Martijn Goosens ,  Peter Gerard Steeneken

发明人： Geert Langereis ,  Twan Van Lippen ,  Freddy Roozeboom ,  Hilco Suy ,  Klaus Reimann ,  Jozef Thomas Martinus Van Beek ,  Casper Van Der Avoort ,  Johannes Van Wingerden ,  Kim Phan Le ,  Martijn Goosens ,  Peter Gerard Steeneken

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/02

CPC分类号： H04R19/005 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  H04R7/18 ,  H04R19/04 ,  H04R31/006

摘要： A microphone comprises a substrate (20), a microphone membrane (10) defining an acoustic input surface and a backplate (11) supported with respect to the membrane with a fixed spacing between the backplate (11) and the membrane (10). A microphone periphery area comprises parallel corrugations (24) in the membrane (10) and backplate (11). By using the same corrugated suspension for both the membrane and the backplate, the sensitivity to body noise is optimally suppressed.

摘要翻译： 麦克风包括基板（20），限定声输入表面的麦克风膜（10）和相对于膜支撑的背板（11），所述背板（11）在背板（11）和膜（10）之间具有固定的间隔。 麦克风外围区域包括膜（10）和背板（11）中的平行波纹（24）。 通过对膜和背板使用相同的波纹悬挂，对身体噪声的敏感性被最佳地抑制。

公开(公告)号：US08432233B2

公开(公告)日：2013-04-30

申请号：US13161818

申请日：2011-06-16

申请人： Casper Van Der Avoort

发明人： Casper Van Der Avoort

IPC分类号： H03B5/30 ,  H01L41/053 ,  H03H9/17

CPC分类号： H03H3/0076 ,  H03H9/2452 ,  H03H2009/02251 ,  H03H2009/0233

摘要： A micro-electromechanical resonator suspended from an anchor. The resonator has: a length; a first width at a first distance from the anchor; and a second width at a second, greater distance from the anchor. The second width is greater than the first width, and the width of the resonator tapers gradually along at least part of its length from the second width to the first width.

摘要翻译： 从锚固器悬挂的微机电谐振器。 谐振器具有：长度; 距离锚的第一距离处的第一宽度; 并且距离锚的第二宽度更大。 第二宽度大于第一宽度，并且谐振器的宽度沿其长度的至少一部分从第二宽度逐渐逐渐变细到第一宽度。

公开(公告)号：US08013493B2

公开(公告)日：2011-09-06

申请号：US12601038

申请日：2008-05-28

申请人： Casper Van Der Avoort

发明人： Casper Van Der Avoort

IPC分类号： H02N1/00

CPC分类号： H03H9/2452 ,  H03H9/02244 ,  H03H9/02259 ,  H03H2009/02488 ,  H03H2009/02496

摘要： A MEMS piezoresistive resonator (8, 78) is driven at a higher order eigenmode (32) than the fundamental eigenmode (31). The route of flow of a sense current (22) is arranged in relation to a characteristic of the higher order eigenmode (32), for example by being at a point of maximum displacement (50) or at a point of maximum rate of change with respect to distance (x) of displacement of the higher order eigenmode (32). The route of flow of the sense current (22) may be arranged by fabricating the MEMS piezoresistive resonator (8, 78) with a trench (15) formed between two beams (11, 12) of the MEMS piezoresistive resonator (8, 78), the end of the trench being located at the above mentioned position.

摘要翻译： MEMS压阻谐振器（8,78）以比基本本征模式（31）高的本征模式（32）被驱动。 感测电流（22）的流动路径相对于高阶本征模式（32）的特性被布置，例如通过位于最大位移（50）的点或最大变化速度的点处， 相对于高阶本征模式（32）的位移距离（x）。 感测电流（22）的流动路径可以通过用形成在MEMS压阻谐振器（8,78）的两个光束（11,12）之间的沟槽（15）制造MEMS压阻谐振器（8,78）来布置， 沟槽的端部位于上述位置。