公开(公告)号：US20040024563A1

公开(公告)日：2004-02-05

申请号：US10628423

申请日：2003-07-29

申请人： Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

发明人： Sven Vogler ,  Roland Kaplan ,  Robert Weikert ,  Roelof Wijnaendts-Van-Resandt

IPC分类号： G01C009/00 ,  G06F015/00 ,  G01C017/00 ,  G01C019/00

CPC分类号： G01D5/285 ,  G01D5/26 ,  G01D5/30

摘要： A method for optically detecting the position of a moveable test object (10), especially a mirror or reflector, in which a measuring beam (6) produced by a light source (2) is reflected by the test object (10 and reaches a position-sensitive light detector (12) which carrier out a conversion into information corresponding to the position of the test object (10). The invention enables the position of mirrors, especially rotating mirrors, to be quickly measured optically using a simple optical construction. The measuring beam (6) is focussed onto the light detector (12) by an optical system (8). A signal corresponding to the geometric center or the maximum (10) of the intensity distribution of the focussed measuring spot is determined based on the measured values obtained by the light detector (12).

摘要翻译： 一种用于光学检测可移动测试对象（10）的位置的方法，特别是其中由光源（2）产生的测量光束（6）被测试对象（10）反射到其中的位置 敏感光检测器（12），其将转换载体转换成与测试对象（10）的位置相对应的信息。本发明使得能够使用简单的光学构造来快速测量反射镜，特别是旋转镜的位置。 通过光学系统（8）将测量光束（6）聚焦到光检测器（12）上，对应于聚焦测量点的强度分布的几何中心或最大值（10）的信号基于测量的 由光检测器（12）获得的值。

公开(公告)号：US20030033112A1

公开(公告)日：2003-02-13

申请号：US10198077

申请日：2002-07-19

申请人： Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

发明人： Sven Vogler ,  Roland Kaplan ,  Robert Weikert ,  Roelof Wijnaendts-Van-Resandt

IPC分类号： G01C009/00 ,  G06F015/00 ,  G01C017/00 ,  G01C019/00

CPC分类号： G01D5/285 ,  G01D5/26 ,  G01D5/30

摘要： A method for optically detecting the position of a moveable test object (10), especially a mirror or reflector, in which a measuring beam (6) produced by a light source (2) is reflected by the test object (10 and reaches a position-sensitive light detector (12) which carrier out a conversion into information corresponding to the position of the test object (10). The invention enables the position of mirrors, especially rotating mirrors, to be quickly measured optically using a simple optical construction. The measuring beam (6) is focussed onto the light detector (12) by an optical system (8). A signal corresponding to the geometric center or the maximum (I0) of the intensity distribution of the focussed measuring spot is determined based on the measured values obtained by the light detector (12).

摘要翻译： 一种用于光学检测可移动测试对象（10）的位置的方法，特别是其中由光源（2）产生的测量光束（6）被测试对象（10）反射到其中的位置 敏感光检测器（12），其将转换载体转换成与测试对象（10）的位置相对应的信息。本发明使得能够使用简单的光学构造来快速测量反射镜，特别是旋转镜的位置。 测量光束（6）通过光学系统（8）聚焦到光检测器（12）上，对应于聚焦测量点的强度分布的几何中心或最大值（I0）的信号基于测量 由光检测器（12）获得的值。