公开(公告)号：US06353201B1

公开(公告)日：2002-03-05

申请号：US09614134

申请日：2000-07-11

申请人： Hideo Yamakoshi ,  Kengou Yamaguchi ,  Masayoshi Murata ,  Yoshiaki Takeuchi ,  Yoshikazu Nawata ,  Koji Satake ,  Satoshi Kokaji ,  Shoji Morita ,  Masatoshi Hisatome ,  Tatsuji Horioka ,  Hiroshi Mashima

发明人： Hideo Yamakoshi ,  Kengou Yamaguchi ,  Masayoshi Murata ,  Yoshiaki Takeuchi ,  Yoshikazu Nawata ,  Koji Satake ,  Satoshi Kokaji ,  Shoji Morita ,  Masatoshi Hisatome ,  Tatsuji Horioka ,  Hiroshi Mashima

IPC分类号： B23K1000

CPC分类号： H01J37/32082 ,  H01J37/32532 ,  H05H1/46

摘要： A plurality of electrode bars are arranged in parallel with each other, and side electrode bars are connected to the corresponding opposite ends of the electrode bars, thereby forming a ladder-like RF discharge electrode. Power supply points are arranged axisymmetrically with respect to a reference line, which is a bisector which bisects one side of the RF discharge electrode, while being spaced a predetermined distance from the reference line, thereby suppressing voltage distribution on the ladder electrode, which has an effect on uniformity of discharge distribution, to a sufficiently low level of nonuniformity. Thus, uniform distribution of film deposition rate can be obtained, thereby enabling uniform deposition even in large-area applications.

摘要翻译： 多个电极棒彼此平行地布置，并且侧电极棒连接到电极棒的相应的相对端，从而形成梯状RF放电电极。 电源点相对于参考线轴对称地布置，该参考线是将RF放电电极的一侧平分的等分线，同时与基准线隔开预定距离，由此抑制梯形电极上的电压分布，其具有 对均匀性的影响，达到足够低的不均匀度。 因此，可以获得膜沉积速率的均匀分布，从而即使在大面积应用中也能均匀沉积。

公开(公告)号：US07906365B2

公开(公告)日：2011-03-15

申请号：US11848976

申请日：2007-08-31

申请人： Hiroshi Sonobe ,  Akemi Takano ,  Yoshikazu Nawata ,  Kazumasa Uchihashi ,  Kazuhiko Ogawa ,  Tsukasa Yamane ,  Nobuki Yamashita

发明人： Hiroshi Sonobe ,  Akemi Takano ,  Yoshikazu Nawata ,  Kazumasa Uchihashi ,  Kazuhiko Ogawa ,  Tsukasa Yamane ,  Nobuki Yamashita

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L27/142

CPC分类号： H01L31/186 ,  H01L31/046 ,  H02S50/00 ,  H02S50/15 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： A method of manufacturing a solar cell panel, includes steps (a) to (e). The step (a) is a step of forming a solar cell module by laminating solar cell films on a transparency substrate. The step (b) is a step of performing an inspection of electric power generation on the solar cell module. The step (c) is a step of forming a solar cell panel by executing a panel formation on the solar cell module. The step (d) is a step of cleaning a light incidence surface of the solar cell panel. The step (e) is a step of performing an inspection of electric power generation on the solar cell panel. The step (d) is executed immediately before the step (e).

摘要翻译： 一种制造太阳能电池面板的方法，包括步骤（a）至（e）。 步骤（a）是通过在透明基板上层叠太阳能电池膜来形成太阳能电池模块的步骤。 步骤（b）是对太阳能电池模块进行发电检查的步骤。 步骤（c）是通过在太阳能电池模块上执行面板形成来形成太阳能电池面板的步骤。 步骤（d）是清洁太阳能电池面板的光入射面的工序。 步骤（e）是对太阳能电池面板进行发电检查的步骤。 步骤（d）在步骤（e）之前执行。