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    METHOD AND SYSTEM FOR PREDICTING PROCESS PERFORMANCE USING MATERIAL PROCESSING TOOL AND SENSOR DATA
    1.
    发明申请
    METHOD AND SYSTEM FOR PREDICTING PROCESS PERFORMANCE USING MATERIAL PROCESSING TOOL AND SENSOR DATA 有权
    使用材料加工工具和传感器数据预测过程性能的方法和系统

    公开(公告)号：US20090099991A1

    公开(公告)日：2009-04-16

    申请号：US12255698

    申请日：2008-10-22

    申请人： Hieu A. LAM ,  Hongyu Yue ,  John Shriner

    发明人： Hieu A. LAM ,  Hongyu Yue ,  John Shriner

    IPC分类号： G06N5/02

    CPC分类号： H01L22/20 ,  G05B19/41875 ,  G05B23/0254 ,  G05B2219/31357 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/32194 ,  G05B2219/45028 ,  G05B2219/45031 ,  H01J37/32935 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

    摘要： A method for constructing a process performance prediction model for a material processing system, the method including the steps of: recording tool data for a plurality of observations during a process in a process tool, the tool data comprises a plurality of tool data parameters; recording process performance data for the plurality of observations during the process in the process tool, the process performance data comprises one or more process performance parameters; performing a partial least squares analysis using the tool data and the process performance data; and computing correlation data from the partial least squares analysis.

    摘要翻译： 一种用于构建材料处理系统的过程性能预测模型的方法，所述方法包括以下步骤：在处理工具中的处理期间记录多个观察值的工具数据，所述工具数据包括多个工具数据参数; 在所述过程工具中的过程期间记录所述多个观察值的过程性能数据，所述过程执行数据包括一个或多个过程性能参数; 使用工具数据和过程执行数据执行偏最小二乘法分析; 并从偏最小二乘法分析计算相关数据。