公开(公告)号：US06852558B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10339057

申请日：2003-01-07

申请人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

发明人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

IPC分类号： H01S5/183 ,  H01S5/20 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01S5/18316 ,  H01S5/18333 ,  H01S5/2063

摘要： Planar index guided vertical cavity surface emitting laser (PIG VCSEL) utilizes index guiding to provide improved optical confinement and proton implantation to improve current confinement. Index guiding is achieved by etching index guide openings (holes or partial ridges) around the optical confinement region and may be adjusted by varying the etched volume of the index guide openings (holes and partial ridges). The top contact surface area is increased in the PIG VCSEL thereby lowering contact and device resistance to improve VCSEL performance further. The PIG VCSEL is a substantially planarized device for ease of manufacture.

摘要翻译： 平面折射率引导垂直腔面发射激光器（PIG VCSEL）利用指数引导提供改进的光限制和质子注入，以改善电流限制。 通过在光学限制区域周围蚀刻引导引导开口（孔或部分脊）来实现引导引导，并且可以通过改变引导引导开口（孔和部分脊）的蚀刻体积来调整引导引导。 在PIG VCSEL中，顶部接触表面积增加，从而降低接触和器件电阻，从而进一步提高VCSEL性能。 PIG VCSEL是一种基本上平面化的器件，易于制造。

公开(公告)号：US06822993B2

公开(公告)日：2004-11-23

申请号：US10338137

申请日：2003-01-08

申请人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

发明人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

IPC分类号： H01S500

CPC分类号： H01S5/18316 ,  H01S5/18333 ,  H01S5/2063

摘要： Planar index guided vertical cavity surface emitting laser (PIG VCSEL) utilizes index guiding to provide improved optical confinement and proton implantation to improve current confinement. Index guiding is achieved by etching index guide openings (holes or partial ridges) around the optical confinement region and may be adjusted by varying the etched volume of the index guide openings (holes and partial ridges). The top contact surface area is increased in the PIG VCSEL thereby lowering contact and device resistance to improve VCSEL performance further. The PIG VCSEL is a substantially planarized device for ease of manufacture.

摘要翻译： 平面折射率引导垂直腔面发射激光器（PIG VCSEL）利用指数引导提供改进的光限制和质子注入，以改善电流限制。 通过在光学限制区域周围蚀刻引导引导开口（孔或部分脊）来实现引导引导，并且可以通过改变引导引导开口（孔和部分脊）的蚀刻体积来调整引导引导。 在PIG VCSEL中，顶部接触表面积增加，从而降低接触和器件电阻，从而进一步提高VCSEL性能。 PIG VCSEL是一种基本上平面化的器件，易于制造。

公开(公告)号：US06577658B1

公开(公告)日：2003-06-10

申请号：US09400359

申请日：1999-09-20

申请人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

发明人： Hsing-Chung Lee ,  Liew-Chuang Chui

IPC分类号： H01S500

CPC分类号： H01S5/18316 ,  H01S5/18333 ,  H01S5/2063

摘要： Planar index guided vertical cavity surface emitting laser (PIG VCSEL) utilizes index guiding to provide improved optical confinement and proton implantation to improve current confinement. Index guiding is achieved by etching index guide openings (holes or partial ridges) around the optical confinement region and may be adjusted by varying the etched volume of the index guide openings (holes and partial ridges). The top contact surface area is increased in the PIG VCSEL thereby lowering contact and device resistance to improve VCSEL performance further. The PIG VCSEL is a substantially planarized device for ease of manufacture.

摘要翻译： 平面折射率引导垂直腔面发射激光器（PIG VCSEL）利用指数引导提供改进的光限制和质子注入，以改善电流限制。 通过在光学限制区域周围蚀刻引导引导开口（孔或部分脊）来实现引导引导，并且可以通过改变引导引导开口（孔和部分脊）的蚀刻体积来调整引导引导。 在PIG VCSEL中，顶部接触表面积增加，从而降低接触和器件电阻，从而进一步提高VCSEL性能。 PIG VCSEL是一种基本上平面化的器件，易于制造。