公开(公告)号：US20080001690A1

公开(公告)日：2008-01-03

申请号：US11650402

申请日：2007-01-05

申请人： Huseh-An Yang ,  Weileun Fang ,  Tsung-Lin Tang

发明人： Huseh-An Yang ,  Weileun Fang ,  Tsung-Lin Tang

IPC分类号： H01H1/00

CPC分类号： G02B26/085

摘要： A method for manufacturing a magnetic-induction element is provided. The method includes steps of: a) providing a substrate, b) forming an adhesive layer on the substrate, c) forming a seed layer on the adhesive layer, d) removing a part of the seed layer to reveal a part of the adhesive layer, e) partially forming a resistance on the seed layer and the revealed part of the adhesive layer, f) forming a magnetic-induction layer on the seed layer and the revealed part of the adhesive layer, g) removing the resistance, and h) removing a part of the substrate and the revealed part of the adhesive layer.

摘要翻译： 提供一种制造磁感应元件的方法。 该方法包括以下步骤：a）提供衬底，b）在衬底上形成粘合剂层，c）在粘合剂层上形成种子层，d）去除种子层的一部分以露出粘合剂层的一部分 e）部分地在种子层和粘合剂层的显露部分形成电阻，f）在种子层和粘合剂层的显露部分上形成磁感应层，g）去除电阻，以及h） 去除衬底的一部分和粘合剂层的露出部分。

公开(公告)号：US08277667B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US12013843

申请日：2008-01-14

申请人： Hsueh-An Yang ,  Weileun Fang ,  Tsung-Lin Tang

发明人： Hsueh-An Yang ,  Weileun Fang ,  Tsung-Lin Tang

IPC分类号： H01L21/302 ,  B81C1/00

CPC分类号： B81C1/00142 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/0019 ,  H01F7/122 ,  H01F7/14 ,  H01F41/041 ,  H01F2007/068 ,  H02K33/18

摘要： A magnetic element and its manufacturing method are provided. A magnetic element includes an actuation part having a first surface and a second surface, a torsion bar connected to the actuation part, and a frame connected to the first torsion bar, wherein the first surface of the actuation part is an uneven surface. The manufacturing method of the magnetic element starts with forming an passivation layer on a substrate and defining a special area by the mask method, then continues with forming the adhesion layer and electroplate-initializing layer on the substrate sequentially. The photoresist layer are formed and the magnetic-inductive material is electroformed on the electroplate area. Finally, the substrate is etched and the passivation layer is removed to obtain the magnetic element. The manufacturing method of magnetic element of the present invention can be applied in the microelectromechanical system field and other categories.

摘要翻译： 提供了磁性元件及其制造方法。 磁性元件包括具有第一表面和第二表面的致动部件，连接到致动部件的扭杆和连接到第一扭杆的框架，其中致动部件的第一表面是不平坦的表面。 磁性元件的制造方法首先在基板上形成钝化层，通过掩模法形成特殊区域，然后依次在基板上形成粘合层和电镀初始化层。 形成光致抗蚀剂层，并且将磁感应材料电铸在电镀区域上。 最后，蚀刻衬底并去除钝化层以获得磁性元件。 本发明的磁性元件的制造方法可以应用于微机电系统领域等。

公开(公告)号：US07826159B2

公开(公告)日：2010-11-02

申请号：US12477872

申请日：2009-06-03

申请人： Pei-Ching Kuo ,  Fang-Ying Peng ,  Sheng-An Wang ,  Peng-Shin Lee ,  Tsung-Lin Tang ,  Wei-Leun Fang

发明人： Pei-Ching Kuo ,  Fang-Ying Peng ,  Sheng-An Wang ,  Peng-Shin Lee ,  Tsung-Lin Tang ,  Wei-Leun Fang

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/08 ,  H02K33/16 ,  H02K41/0356 ,  Y10T29/49227

摘要： The present disclosure provides a focus module including a substrate, a holder, at lease one second magnet, a frame and an elastic element. The substrate includes at least one first magnet and an aperture. The frame is fixed on the substrate and defining a hole receiving the holder. The second magnet is fixed on the holder. At least one of the first magnet and the second magnet is an electromagnet. The elastic element includes a first end, a second end, and at least one U-shape bend connected the first and second ends. The first end is fixed on the side surface of the holder. The second end is fixed on the inner surface of the hole. The two sides of the U-shape bend are parallel to the side surface of the holder and the inner surface of the hole. The present invention also provides a method for manufacturing the focus module.

摘要翻译： 本公开提供了一种聚焦模块，其包括基底，保持器，至少一个第二磁体，框架和弹性元件。 基板包括至少一个第一磁体和孔。 框架固定在基板上并且限定了容纳支架的孔。 第二个磁体固定在支架上。 第一磁体和第二磁体中的至少一个是电磁体。 弹性元件包括第一端，第二端和连接在第一端和第二端的至少一个U形弯曲。 第一端固定在支架的侧面上。 第二端固定在孔的内表面上。 U形弯曲部的两侧平行于保持件的侧面和孔的内表面。 本发明还提供一种制造聚焦模块的方法。