公开(公告)号：US3401055A

公开(公告)日：1968-09-10

申请号：US42258664

申请日：1964-12-31

Applicant: IBM

Inventor： LANGDON JACK L ,  CLARENCE KARAN ,  PECORARO RAYMOND P ,  TOTTA PAUL A

IPC: B23K35/00 ,  C23C14/04 ,  H01L21/60 ,  H01L23/485

CPC classification number: H01L24/11 ,  B23K35/001 ,  C23C14/042 ,  H01L23/485 ,  H01L2224/05144 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05171 ,  H01L2224/056 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014