公开(公告)号：US3311215A

公开(公告)日：1967-03-28

申请号：US45938465

申请日：1965-05-27

Applicant: IBM

Inventor： KENDALL CLARK ,  DE TURRIS FRANK L

IPC: H05K13/02

CPC classification number: H05K13/02

公开(公告)号：US3313395A

公开(公告)日：1967-04-11

申请号：US45934465

申请日：1965-05-27

Applicant: IBM

Inventor： DE TURRIS FRANK L ,  GODAT JEAN J L

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68778