公开(公告)号：US3354009A

公开(公告)日：1967-11-21

申请号：US46816565

申请日：1965-06-29

Applicant: IBM

Inventor： KAY MANDEL ,  MOREHEAD JR FREDERICK F

IPC: C30B1/10 ,  H01L21/383 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L21/383 ,  C30B1/10 ,  H01L33/00 ,  Y10S252/951

公开(公告)号：US3361910A

公开(公告)日：1968-01-02

申请号：US56094666

申请日：1966-06-16

Applicant: IBM

Inventor： MOREHEAD JR FREDERICK F

IPC: G03C1/705 ,  G11C13/04

CPC classification number: G03C1/705 ,  G11C13/048

公开(公告)号：US3326730A

公开(公告)日：1967-06-20

申请号：US44774365

申请日：1965-04-13

Applicant: IBM

Inventor： KAY MANDEL ,  MOREHEAD JR FREDERICK F ,  KUCZA JOSEPH A ,  HAMMER WILLIAM N

IPC: H01L21/383

CPC classification number: H01L21/383 ,  Y10S252/951