公开(公告)号：US3301637A

公开(公告)日：1967-01-31

申请号：US24770562

申请日：1962-12-27

Applicant: IBM

Inventor： KUCZA JOSEPH A ,  MOUNT KISCO ,  GERALD MANDEL

IPC: C01B25/06 ,  C23C16/30 ,  H01L21/00

CPC classification number: C01B25/06 ,  C23C16/301 ,  H01L21/00 ,  Y10S148/049 ,  Y10S148/065 ,  Y10S148/072

公开(公告)号：US3326730A

公开(公告)日：1967-06-20

申请号：US44774365

申请日：1965-04-13

Applicant: IBM

Inventor： KAY MANDEL ,  MOREHEAD JR FREDERICK F ,  KUCZA JOSEPH A ,  HAMMER WILLIAM N

IPC: H01L21/383

CPC classification number: H01L21/383 ,  Y10S252/951