公开(公告)号：US3046459A

公开(公告)日：1962-07-24

申请号：US86288759

申请日：1959-12-30

Applicant: IBM

Inventor： ANDERSON RICHARD L ,  O'ROURKE MARY J

IPC: H01L21/205 ,  H01L27/00 ,  H01L29/00 ,  H01L31/0687

CPC classification number: H01L31/0687 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L27/00 ,  H01L29/00 ,  Y02E10/544 ,  Y10S438/979

公开(公告)号：US3067387A

公开(公告)日：1962-12-04

申请号：US82701259

申请日：1959-07-14

Applicant: IBM

Inventor： ANDERSON RICHARD L ,  O'ROURKE MARY J

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R31/2601