公开(公告)号：US3386163A

公开(公告)日：1968-06-04

申请号：US39214464

申请日：1964-08-26

Applicant: IBM

Inventor： BRENNEMANN ANDREW E ,  SERAPHIM DONALD P ,  SABIH TANSAL

IPC: H01L21/18 ,  H01L21/22 ,  H01L21/336 ,  H01L21/761 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/76 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L29/76 ,  H01L21/18 ,  H01L21/22 ,  H01L21/761 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/66477 ,  H01L29/78 ,  Y10S148/126 ,  Y10S438/91