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公开(公告)号:US2565483A
公开(公告)日:1951-08-28
申请号:US78334147
申请日:1947-10-28
CPC分类号: H01L21/10 , C23C4/185 , H01L21/02425 , H01L21/02521 , H01L21/02625 , H01L21/101
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公开(公告)号:US2939668A
公开(公告)日:1960-06-07
申请号:US58885656
申请日:1956-06-01
IPC分类号: F16F15/067
CPC分类号: F16F15/067 , Y10T24/44427 , Y10T24/44462
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