公开(公告)号：US20140065788A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：US14075649

申请日：2013-11-08

Applicant: Intermolecular, Inc.

Inventor： Albert Lee ,  Tony P. Chiang ,  Jason Wright

IPC: H01L21/285 ,  H01L45/00 ,  H01L21/28 ,  H01L49/02

CPC classification number: H01L21/28562 ,  C23C16/04 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28158 ,  H01L21/68771 ,  H01L28/40 ,  H01L28/60 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/1616

Abstract: In some embodiments of the present invention, methods of using one or more small spot showerhead apparatus to deposit materials using CVD, PECVD, ALD, or PEALD on small spots in a site isolated, combinatorial manner are described. The small spot showerheads may be configured within a larger combinatorial showerhead to allow multi-layer film stacks to be deposited in a combinatorial manner.

Abstract translation: 在本发明的一些实施例中，描述了使用一个或多个小型喷头装置以局部隔离，组合方式在小斑点上使用CVD，PECVD，ALD或PEALD沉积材料的方法。 小型喷头可配置在更大的组合喷淋头内，以允许以组合方式沉积多层胶片堆叠。

公开(公告)号：US08906790B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US14075649

申请日：2013-11-08

Applicant: Intermolecular, Inc.

Inventor： Albert Lee ,  Tony P. Chiang ,  Jason Wright

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/31 ,  H01L21/469 ,  H01L21/285 ,  C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  H01L45/00 ,  H01L49/02 ,  H01L21/28 ,  H01L21/687 ,  H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  H01L21/365

CPC classification number: H01L21/28562 ,  C23C16/04 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28158 ,  H01L21/68771 ,  H01L28/40 ,  H01L28/60 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/1616

Abstract: In some embodiments of the present invention, methods of using one or more small spot showerhead apparatus to deposit materials using CVD, PECVD, ALD, or PEALD on small spots in a site isolated, combinatorial manner are described. The small spot showerheads may be configured within a larger combinatorial showerhead to allow multi-layer film stacks to be deposited in a combinatorial manner.

Abstract translation: 在本发明的一些实施例中，描述了使用一个或多个小型喷头装置以局部隔离，组合方式在小斑点上使用CVD，PECVD，ALD或PEALD沉积材料的方法。 小型喷头可配置在更大的组合喷淋头内，以允许以组合方式沉积多层胶片堆叠。