公开(公告)号：US06864182B2

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：US10185631

申请日：2002-06-28

申请人： Jörg Butschke ,  Albrecht Ehrmann ,  Karl Kragler ,  Florian Letzkus ,  Christian Reuter ,  Reinhard Springer

发明人： Jörg Butschke ,  Albrecht Ehrmann ,  Karl Kragler ,  Florian Letzkus ,  Christian Reuter ,  Reinhard Springer

IPC分类号： G03F1/20 ,  G03F1/22 ,  G03F1/80 ,  H01L21/302

CPC分类号： G03F1/22 ,  G03F1/20 ,  G03F1/80 ,  Y10S438/928 ,  Y10S438/942

摘要： Based upon an existing or to be produced multi-layered semiconductor-insulator-semiconductor carrier layer wafer (SOI substrate), irregularity of the etching conditions between the center and the edge region occurring during dry etching can be counteracted by a number of alternative steps, in particular, an additional layer construction compensating for the etching irregularity so that in any event an approximately homogeneous etching removal takes place over the entire area of the wafer to be etched.

摘要翻译： 基于现有的或将要制造的多层半导体 - 绝缘体 - 半导体载体层晶片（SOI衬底），在干法蚀刻期间发生的中心和边缘区域之间的蚀刻条件的不规则性可以通过若干替代步骤抵消， 特别地，补偿蚀刻不规则性的附加层结构，使得在任何情况下，在待蚀刻晶片的整个区域上发生大致均匀的蚀刻去除。

公开(公告)号：USD641630S1

公开(公告)日：2011-07-19

申请号：US29356832

申请日：2010-03-03

申请人： Christian Reuter

设计人： Christian Reuter

公开(公告)号：US07494464B2

公开(公告)日：2009-02-24

申请号：US10815455

申请日：2004-03-31

申请人： Alexander Rzesnitzek ,  Eberhard Schmitt ,  Christian Reuter

发明人： Alexander Rzesnitzek ,  Eberhard Schmitt ,  Christian Reuter

IPC分类号： A61B5/00

CPC分类号： A61B5/1115 ,  H04N7/181 ,  Y10S128/92

摘要： The invention concerns a monitoring system for monitoring patients with disturbed motor function. The monitoring system is characterized by at least one observation station (3) with an electronic camera for recording video motion pictures and devices (10) for marking an object field to be covered by the camera (9), a storage device for the digital storage of video pictures of a patient, which are to be recorded at preselected intervals by the camera in the movement station, an image processing system for processing the video pictures recorded in time intervals to obtain a shortened video picture sequence, and a video display device for displaying the video picture sequence.

摘要翻译： 本发明涉及用于监测具有紊乱运动功能的患者的监测系统。 监视系统的特征在于至少一个具有用于记录视频运动图像的电子照相机的观察站（3）和用于标记由照相机（9）覆盖的对象场的装置（10），用于数字存储的存储装置 要在移动台中由照相机以预选间隔记录的患者的视频图像，用于处理以时间间隔记录以获得缩短的视频图像序列的视频图像的图像处理系统，以及用于 显示视频图像序列。