公开(公告)号：US5478435A

公开(公告)日：1995-12-26

申请号：US356987

申请日：1994-12-16

申请人： James J. Murphy ,  Janos Farkas ,  Lucia C. Markert ,  Rahul Jairath

发明人： James J. Murphy ,  Janos Farkas ,  Lucia C. Markert ,  Rahul Jairath

IPC分类号： B01F3/12 ,  B01F5/04 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/6715 ,  B01F5/0403 ,  B01F2003/1257 ,  B01F2215/0045

摘要： A point of use slurry dispensing system with controls for dilution, temperature and oxidizer/etchant/additive infusion. A slurry in unmixed form and a diluting agent are independently pumped to a pad on a CMP tool. Liquid heaters are used to heat the slurry and the diluting agent to a desirable temperature. The actual mixing occurs at the point of use on the pad or in a dispensing line just prior to the point of use. In some instances a third independent distribution line is used to dispense an oxidizer, etchant and/or chemical additive at or near the point of use.

摘要翻译： 一种使用的浆料分配系统，其具有用于稀释，温度和氧化剂/蚀刻剂/添加剂输注的对照。 将未混合的浆料和稀释剂独立地泵送到CMP工具上的垫上。 液体加热器用于将浆料和稀释剂加热至所需温度。 在使用点之前，实际的混合发生在垫上或使用点处。 在一些情况下，使用第三独立分配线来在使用点处或附近分配氧化剂，蚀刻剂和/或化学添加剂。