公开(公告)号：US08758513B2

公开(公告)日：2014-06-24

申请号：US11639224

申请日：2006-12-15

申请人： Jin Seok Lee ,  Hyuk Sang Yoon ,  Hwan Kyu Yoo ,  Byeong Eok Hwang

发明人： Jin Seok Lee ,  Hyuk Sang Yoon ,  Hwan Kyu Yoo ,  Byeong Eok Hwang

IPC分类号： C23F1/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L21/67173 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568

摘要： A processing apparatus includes a loading chamber; a buffer chamber connected to the loading chamber; a first process chamber connected to the buffer chamber; and an unloading chamber connected to the first process chamber, wherein a processing path through the processing apparatus is a forward in-line path in a direction through the loading chamber, the buffer chamber, the first process chamber, and the unloading chamber.

摘要翻译： 一种处理装置，包括装载室; 连接到所述装载室的缓冲室; 连接到缓冲室的第一处理室; 以及连接到所述第一处理室的卸载室，其中通过所述处理装置的处理路径是沿着穿过所述装载室，所述缓冲室，所述第一处理室和所述卸载室的方向的前向一线路径。