公开(公告)号：US20060023214A1

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：US10900393

申请日：2004-07-28

申请人： Joeri Lof ,  Fransiscus Casper Bijnen ,  Henricus Maria Van Buel ,  Gerardus Joseph Keijsers ,  Robertus Maria Scheepens

发明人： Joeri Lof ,  Fransiscus Casper Bijnen ,  Henricus Maria Van Buel ,  Gerardus Joseph Keijsers ,  Robertus Maria Scheepens

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G03F9/7088 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7015 ,  G03F9/708 ,  G03F9/7084

摘要： In a method of measuring front to backside alignment error according to one embodiment, a transparent substrate has a plurality of marks on both the front and backside. The relative location of the marks on the front and backside of the substrate is determined to calculate the front to backside alignment error for the whole substrate. In a further embodiment, the substrate is rotated by 180° within the plane of the substrate and the front relative location of the marks is again determined.

摘要翻译： 在根据一个实施例的测量前后对准误差的方法中，透明基板在前侧和后侧具有多个标记。 确定基板正面和背面上的标记的相对位置以计算整个基板的正面到背面对准误差。 在另一个实施例中，衬底在衬底的平面内旋转180°，并再次确定标记的前部相对位置。