公开(公告)号：US08367525B2

公开(公告)日：2013-02-05

申请号：US12692610

申请日：2010-01-23

申请人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/28506 ,  B33Y10/00 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76838 ,  Y10S438/962

摘要： A process for forming nanostructures comprises generating charged nanoparticles with an electrospray system and introduction of the charged nanoparticles to a substrate, so that the particles adhere to the substrate in order to form the desired structure. The charged nanoparticles may be directed to a target position by at least one deflector in the electrospray apparatus, which may also include a column optic system. The adhered nanoparticles may be sintered to form the structure. The electrospray apparatus may be single source, multi-source injection, or multi-source selection. An array of electrospray apparatuses with deflectors may be used concurrently to form the structure.

摘要翻译： 形成纳米结构的方法包括用电喷雾系统产生带电荷的纳米颗粒并将带电的纳米颗粒引入基底，使得颗粒粘附到基底上以形成所需的结构。 带电的纳米颗粒可以通过电喷射装置中的至少一个偏转器被引导到目标位置，其也可以包括列光学系统。 粘附的纳米颗粒可以被烧结以形成结构。 电喷雾装置可以是单源，多源注入或多源选择。 具有偏转器的电喷射装置的阵列可以同时使用以形成结构。

公开(公告)号：US20100144125A1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：US12692610

申请日：2010-01-23

申请人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L21/28506 ,  B33Y10/00 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76838 ,  Y10S438/962

摘要： A process for forming nanostructures comprises generating charged nanoparticles with an electrospray system and introduction of the charged nanoparticles to a substrate, so that the particles adhere to the substrate in order to form the desired structure. The charged nanoparticles may be directed to a target position by at least one deflector in the electrospray apparatus, which may also include a column optic system. The adhered nanoparticles may be sintered to form the structure. The electrospray apparatus may be single source, multi-source injection, or multi-source selection. An array of electrospray apparatuses with deflectors may be used concurrently to form the structure.

摘要翻译： 形成纳米结构的方法包括用电喷雾系统产生带电荷的纳米颗粒并将带电的纳米颗粒引入基底，使得颗粒粘附到基底上以形成所需的结构。 带电的纳米颗粒可以通过电喷射装置中的至少一个偏转器被引导到目标位置，其也可以包括列光学系统。 粘附的纳米颗粒可以被烧结以形成结构。 电喷雾装置可以是单源，多源注入或多源选择。 具有偏转器的电喷射装置的阵列可以同时使用以形成结构。

公开(公告)号：US07651926B2

公开(公告)日：2010-01-26

申请号：US11330865

申请日：2006-01-12

申请人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/28506 ,  B33Y10/00 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76838 ,  Y10S438/962

摘要： A process for forming nanostructures comprises generating charged nanoparticles with an electrospray system in a vacuum chamber and introduction of the charged nanoparticles to a region proximate to a charge pattern, so that the particles adhere to the charge pattern in order to form the feature. Two- or three-dimensional nanostructures may be formed by rapidly creating a charge pattern of nanoscale dimensions on a substrate using a normal electron beam or a microcolumn electron beam, generating high purity nanoscale or molecular size scale building blocks of a first type that image the charge pattern using the electrospray system, and then optionally sintering the building blocks to form the feature.

摘要翻译： 用于形成纳米结构的方法包括在真空室中用电喷雾系统产生带电荷的纳米颗粒，并将带电荷的纳米粒子引入靠近电荷图案的区域，使得颗粒粘附到电荷图案上以形成特征。 可以通过使用普通电子束或微柱电子束在衬底上快速产生纳米级尺寸的电荷图案来形成二维或三维纳米结构，产生第一类型的高纯度纳米尺度或分子尺寸刻度构建块， 使用电喷雾系统的电荷模式，然后可选地烧结构建块以形成特征。

公开(公告)号：US20070197044A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11330865

申请日：2006-01-12

申请人： Joseph Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph Jacobson ,  Jae-bum Joo ,  Jon Varsanik ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/428

CPC分类号： H01L21/28506 ,  B33Y10/00 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76838 ,  Y10S438/962

摘要： A process for forming nanostructures comprises generating charged nanoparticles with an electrospray system in a vacuum chamber and introduction of the charged nanoparticles to a region proximate to a charge pattern, so that the particles adhere to the charge pattern in order to form the feature. Two- or three-dimensional nanostructures may be formed by rapidly creating a charge pattern of nanoscale dimensions on a substrate using a normal electron beam or a microcolumn electron beam, generating high purity nanoscale or molecular size scale building blocks of a first type that image the charge pattern using the electrospray system, and then optionally sintering the building blocks to form the feature.

摘要翻译： 用于形成纳米结构的方法包括在真空室中用电喷雾系统产生带电荷的纳米颗粒，并将带电荷的纳米粒子引入靠近电荷图案的区域，使得颗粒粘附到电荷图案上以形成特征。 可以通过使用普通电子束或微柱电子束在衬底上快速产生纳米级尺寸的电荷图案来形成二维或三维纳米结构，产生第一类型的高纯度纳米尺度或分子尺寸刻度构建块， 使用电喷雾系统的电荷模式，然后可选地烧结构建块以形成特征。