公开(公告)号：US06911283B1

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：US10072204

申请日：2002-02-07

申请人： Joseph Stephen Gordon ,  Gregory P. Hughes ,  Franklin Dean Kalk ,  Hakki Ufuk Alpay ,  Glenn E. Storm

发明人： Joseph Stephen Gordon ,  Gregory P. Hughes ,  Franklin Dean Kalk ,  Hakki Ufuk Alpay ,  Glenn E. Storm

IPC分类号： G03B27/62 ,  G03F1/14 ,  G03F9/00

CPC分类号： G03B27/62 ,  G03F1/64

摘要： A method and apparatus for coupling a pellicle to a photomask using a non-distorting mechanism are disclosed. A pellicle is coupled to a photomask with a non-distorting mechanism that is located on a pellicle frame opposite a thin film coupled to the pellicle frame. The non-distorting mechanism acts to reduce stress exerted on the photomask by the pellicle.

摘要翻译： 公开了一种使用非变形机构将防护薄膜耦合到光掩模的方法和装置。 防护薄膜组件与光掩模耦合，其具有非变形机构，其位于防护薄膜组件框架上，薄膜框架与耦合到防护薄膜框架的薄膜相对。 非变形机构用于减少由防护薄膜组件施加在光掩模上的应力。

公开(公告)号：US06833222B1

公开(公告)日：2004-12-21

申请号：US10100348

申请日：2002-03-18

申请人： John E. Buzerak ,  Greg A. Fariss ,  Glenn E. Storm

发明人： John E. Buzerak ,  Greg A. Fariss ,  Glenn E. Storm

IPC分类号： G03F900

CPC分类号： G03F1/64 ,  B23K26/142 ,  B23K26/1462 ,  Y10T156/108

摘要： A method and apparatus for trimming a pellicle film using a laser are disclosed. A laser trimming assembly includes a modified laser-cutting head coupled to a laser. The laser includes a laser beam for trimming a pellicle film that extends beyond a perimeter of a pellicle frame. The modified laser-cutting head includes a nozzle and at least one hose port located on the nozzle. The hose port may receive a vacuum hose for removing particulate matter created during a trimming process.

摘要翻译： 公开了一种使用激光修整防护薄膜的方法和装置。 激光修整组件包括耦合到激光器的修改的激光切割头。 激光器包括用于修整延伸超过防护薄膜组件框架的周边的防护薄膜的激光束。 修改的激光切割头包括喷嘴和位于喷嘴上的至少一个软管端口。 软管端口可以接收用于去除在修整过程中产生的颗粒物质的真空软管。