公开(公告)号：US20100305884A1

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：US12781353

申请日：2010-05-17

申请人： Joseph Yudovsky ,  Jeffrey Tobin ,  Patricia M. Liu ,  Faruk Gungor ,  Tai T. Ngo ,  Travis Tesch ,  Kenric Choi

发明人： Joseph Yudovsky ,  Jeffrey Tobin ,  Patricia M. Liu ,  Faruk Gungor ,  Tai T. Ngo ,  Travis Tesch ,  Kenric Choi

IPC分类号： G01N7/00

CPC分类号： C23C16/4481

摘要： Methods of determining an amount of precursor in an ampoule have been provided herein. In some embodiments, a method for determining an amount of solid precursor in an ampoule may include determining a first pressure in an ampoule having a first volume partially filled with a solid precursor; flowing an amount of a first gas into the ampoule to establish a second pressure in the ampoule; determining a remaining portion of the first volume based on a relationship between the first pressure, the second pressure, and the amount of the first gas flowed into the ampoule; and determining the amount of solid precursor in the ampoule based on the first volume and the remaining portion of the first volume.

摘要翻译： 本文提供了确定安瓿中前体的量的方法。 在一些实施方案中，用于测定安瓿中的固体前体的量的方法可包括确定具有部分填充有固体前体的第一体积的安瓿中的第一压力; 将一定量的第一气体流入安瓿中以在安瓿中建立第二压力; 基于第一压力，第二压力和流入安瓿的第一气体的量之间的关系来确定第一容积的剩余部分; 并且基于第一体积和第一体积的剩余部分确定安瓿中的固体前体的量。