公开(公告)号：US5230182A

公开(公告)日：1993-07-27

申请号：US922910

申请日：1992-07-31

申请人： Keith Daniell ,  Matthew B. Magida ,  Steven Chuang ,  Joann Magner ,  D. P. Mathur

发明人： Keith Daniell ,  Matthew B. Magida ,  Steven Chuang ,  Joann Magner ,  D. P. Mathur

IPC分类号： B24B1/04 ,  B24B13/00

CPC分类号： B24B1/04 ,  B24B13/00

摘要： A slurry of abrasive particles 17 is placed on the surface of an optic material 28. A tool tip 16 driven by an ultrasonic transducer 12 is immersed in the slurry 17 where it is used to ultrasonically vibrate the particles in the slurry 17. The vibration of the abrasive particles causes matter removal from the surface of the optic material 28 by abrasion. The tool tip 16 is moved relatively over the surface of the material 28 by moving a precision translation stage 18 having the material 28 mounted thereon so as to machine the surface thereof.

摘要翻译： 将磨料颗粒17的浆料放置在光学材料28的表面上。由超声换能器12驱动的工具尖端16浸入浆液17中，在该浆液17中用于超声振动浆料17中的颗粒。振动 研磨颗粒通过磨损导致从光学材料28的表面去除物质。 通过移动具有安装在其上的材料28的精密平移台18，工具尖端16相对地移动到材料28的表面上，以加工其表面。