公开(公告)号：US20120137787A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：US13390515

申请日：2010-08-13

申请人： Kui Yao ,  Chin Yaw Tan ,  Ajit S. Gaunekar ,  Hon Yu Peter Ng

发明人： Kui Yao ,  Chin Yaw Tan ,  Ajit S. Gaunekar ,  Hon Yu Peter Ng

IPC分类号： G01L1/16 ,  H01L41/04 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01L1/16 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/257 ,  H01L41/29 ,  H01L41/317 ,  H01L41/45 ,  Y10T29/42

摘要： A piezoelectric sensor comprising a piezoelectric film formed on a surface of an object to be monitored; a plurality of electrodes formed on a surface of the piezoelectric film; and wherein electrical polarization of the piezoelectric film is about coplanar with the surface of the piezoelectric film. A method of forming a piezoelectric sensor. The method comprises forming a piezoelectric film on a surface of an object to be monitored; forming electrodes on a surface of the piezoelectric film; and orientating electrical polarization in the piezoelectric film to be about coplanar with the surface of the piezoelectric film.

摘要翻译： 一种压电传感器，包括形成在待监测对象的表面上的压电膜; 形成在所述压电膜的表面上的多个电极; 并且其中所述压电膜的电极化与所述压电膜的表面大致共面。 一种形成压电传感器的方法。 该方法包括在待监测对象的表面上形成压电膜; 在所述压电膜的表面上形成电极; 并且将压电膜中的电极化定向为与压电膜的表面大致共面。

公开(公告)号：US07465354B2

公开(公告)日：2008-12-16

申请号：US11074417

申请日：2005-03-08

申请人： Chong Kim Ong ,  Chin Yaw Tan

发明人： Chong Kim Ong ,  Chin Yaw Tan

IPC分类号： C30B25/04

CPC分类号： H01P11/00 ,  H01L21/0331 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507 ,  H01L28/55

摘要： A process, for patterning a thin film that is highly resistant to conventional etching processes and that is to be deposited at a high substrate temperature, is disclosed. The process uses a liftoff method wherein a refractory material has been substituted for the conventional organic resin. The method is particularly useful for the fabrication of tunable microwave devices and ferroelectric memory elements.

摘要翻译： 公开了一种用于图案化对传统蚀刻工艺具有高度抵抗力并且要在高衬底温度下沉积的薄膜的工艺。 该方法使用其中耐火材料已经代替常规有机树脂的剥离方法。 该方法对于可调谐微波器件和铁电存储元件的制造特别有用。