公开(公告)号：US20060163563A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：US11042604

申请日：2005-01-24

申请人： Kurt Ulmer ,  Tim Emmerich

发明人： Kurt Ulmer ,  Tim Emmerich

IPC分类号： H01L29/08 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01C17/075 ,  H01C17/065 ,  H01C17/14 ,  H01L21/6715 ,  H01L28/20 ,  H05K1/167 ,  H05K2203/013

摘要： Embodiments of methods, apparatuses, devices, and/or systems for forming thin film resistor are described.

摘要翻译： 描述了用于形成薄膜电阻器的方法，装置，装置和/或系统的实施例。