公开(公告)号：US20050095859A1

公开(公告)日：2005-05-05

申请号：US10700328

申请日：2003-11-03

申请人： Ling Chen ,  Phillip Kang ,  Seshadri Ganguli

发明人： Ling Chen ,  Phillip Kang ,  Seshadri Ganguli

IPC分类号： C23C16/448 ,  C23C16/52 ,  H01L21/285 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： C23C16/52 ,  C23C16/4481 ,  H01L21/28556

摘要： A method and apparatus for a gas delivery system to deliver a precursor from a vessel to a process chamber via a process gas produced by flowing a first carrier gas into the vessel and combining with a second carrier gas flowing through a bypass around the vessel and a precursor monitoring apparatus disposed between the process chamber and the vessel. The precursor monitoring apparatus has a gas analyzer to generate a first signal indicative of a concentration of the precursor in the process gas or to a signal indicative of a flow rate of the process gas.

摘要翻译： 一种用于气体输送系统的方法和装置，用于通过将第一载气流入容器并与流过绕容器的旁路的第二载气合并，将容器中的前体从容器输送到处理室， 前体监测装置设置在处理室和容器之间。 前体监测装置具有气体分析器，以产生指示处理气体中的前体浓度的第一信号或指示处理气体的流量的信号。

公开(公告)号：US20080044573A1

公开(公告)日：2008-02-21

申请号：US11877503

申请日：2007-10-23

申请人： LING CHEN ,  Phillip Kang ,  Seshadri Ganguli

发明人： LING CHEN ,  Phillip Kang ,  Seshadri Ganguli

IPC分类号： C23C16/44

CPC分类号： C23C16/52 ,  C23C16/4481 ,  H01L21/28556

摘要： Embodiments of the invention provide a method for monitoring and controlling delivery of a precursor from an ampoule in a process chamber. In one embodiment, the method provides flowing a first carrier gas at a first flow rate through a vessel containing a chemical precursor to form a first precursor gas, combining a second carrier gas at a second flow rate and the first precursor gas to form a second precursor gas, measuring a concentration of the chemical precursor within the second precursor gas, and calculating a mass flow rate of the chemical precursor. In one example, a tantalum-containing film is deposited on a substrate during an atomic layer deposition process by heating an ampoule containing pentakis(dimethylamido) tantalum to a temperature within a range from about 60° C. to about 75° C., and forming a precursor gas by flowing a carrier gas through the ampoule.

摘要翻译： 本发明的实施方案提供了一种用于监测和控制来自处理室中的安瓿的前体递送的方法。 在一个实施方案中，该方法提供了使第一载气以第一流速流过包含化学前体的容器以形成第一前体气体，将第二载气与第一前体气体组合，形成第二载气 前体气体，测量第二前体气体内的化学前体的浓度，以及计算化学前体的质量流量。 在一个实例中，在原子层沉积工艺期间，通过将含有五（二甲基氨基）钽的安瓿加热至约60℃至约75℃的温度，将含钽的膜沉积在基板上，以及 通过使载气流过安瓿来形成前体气体。

公开(公告)号：US20120226320A1

公开(公告)日：2012-09-06

申请号：US13357714

申请日：2012-01-25

申请人： Phillip Kang ,  Mark P. Grady

发明人： Phillip Kang ,  Mark P. Grady

IPC分类号： A61B17/80 ,  A61B17/88

CPC分类号： A61B17/8085 ,  A61B17/8076 ,  A61B17/809 ,  A61B2017/00867

摘要： Bone fixation devices, assemblies, and methods are provided. An expandable bone fixation implant can be implanted into a patient and attached to an underlying bone via a percutaneous or alternative fixation procedure in order to provide fixation and stabilization of the underlying bone.

摘要翻译： 提供骨固定装置，组件和方法。 可扩张的骨固定植入物可以植入患者体内，并通过经皮或替代的固定程序附着于下面的骨骼，以提供下面的骨的固定和稳定。

公开(公告)号：US08906074B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US13357714

申请日：2012-01-25

申请人： Phillip Kang ,  Mark P. Grady

发明人： Phillip Kang ,  Mark P. Grady

IPC分类号： A61B17/80 ,  A61B17/00

CPC分类号： A61B17/8085 ,  A61B17/8076 ,  A61B17/809 ,  A61B2017/00867

摘要： Bone fixation devices, assemblies, and methods are provided. An expandable bone fixation implant can be implanted into a patient and attached to an underlying bone via a percutaneous or alternative fixation procedure in order to provide fixation and stabilization of the underlying bone.

摘要翻译： 提供骨固定装置，组件和方法。 可扩张的骨固定植入物可以植入患者体内，并通过经皮或替代的固定程序附着于下面的骨骼，以提供下面的骨的固定和稳定。