公开(公告)号：US20120235694A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：US13446472

申请日：2012-04-13

申请人： Masaaki ASANO ,  Tsukasa YONEKAWA

发明人： Masaaki ASANO ,  Tsukasa YONEKAWA

IPC分类号： G01R27/08 ,  H05K3/10 ,  G01N27/00

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P2015/0805 ,  G01P2015/0854 ,  G01P2015/0857 ,  Y10T29/49162

摘要： A dynamic quantity sensor includes a first substrate, a fixed part arranged in the first substrate, a spiral shaped movable electrode arranged separated from the first substrate, one end of the spiral shaped movable electrode being supported by the fixed part, a fixed electrode positioned on the periphery of the movable electrode and arranged in a detection direction of a dynamic quantity, and a first terminal electrically connected to the fixed part and a second terminal electrically connected to the fixed electrode.

摘要翻译： 动态量传感器包括第一基板，布置在第一基板中的固定部分，与第一基板分离设置的螺旋形可动电极，螺旋形可动电极的一端由固定部分支撑，固定电极位于 可移动电极的周边并且沿动态量的检测方向布置，以及电连接到固定部分的第一端子和电连接到固定电极的第二端子。