公开(公告)号：US20160023904A1

公开(公告)日：2016-01-28

申请号：US14444845

申请日：2014-07-28

申请人： Massachusetts Institute of Technology ,  University of Michigan, The Board of Regents Acting For and On behalf of the C/O Technology Man

发明人： Anastasios John Hart ,  Sei Jin Park ,  Sameh Hani Tawfick ,  Michael FI De Volder

IPC分类号： C01B31/02 ,  C23C16/52

CPC分类号： C01B31/0233 ,  B81C1/00626 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/02 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/08 ,  C01B2202/20 ,  C01B2202/36 ,  C23C16/52

摘要： The present invention generally relates to articles comprising microstructures and methods for forming microstructures. The microstructures may be mechanically coupled to impart complex three dimensional shapes. For example, one or more microstructures may be grown on a substrate at different average growth rates, resulting in curved microstructures.

摘要翻译： 本发明一般涉及包含微结构的制品和用于形成微结构的方法。 微结构可以机械耦合以赋予复杂的三维形状。 例如，一个或多个微结构可以以不同的平均生长速率在衬底上生长，导致弯曲的微结构。