公开(公告)号：US07654007B2

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：US12154785

申请日：2008-05-27

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： G01B11/03 ,  G01B11/27

CPC分类号： G01B21/042 ,  G01B11/03

摘要： A method for improving the reproducibility of a coordinate measuring machine and its accuracy is disclosed. Using at least one measuring field of a camera, a plurality of images of at least one structure on the substrate are recorded. The substrate is placed on a measuring stage traversable in the X coordinate direction and the Y coordinate direction, the position of which is determined during imaging using a displacement measuring system. The measuring field is displaced by the amount of the deviation determined.

摘要翻译： 公开了一种用于提高坐标测量机的再现性及其精度的方法。 使用相机的至少一个测量场，记录基板上的至少一个结构的多个图像。 将基板放置在可在X坐标方向和Y坐标方向上横穿的测量台上，其位置在使用位移测量系统的成像期间确定。 测量场被偏移确定的偏差量。

公开(公告)号：US20090045318A1

公开(公告)日：2009-02-19

申请号：US12228583

申请日：2008-08-14

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： G01J1/32

CPC分类号： H04N1/40

摘要： A method for reproducibly determining object characteristics is disclosed. Herein an object is imaged onto a detector by means of an imaging optics and detected thereon. A correction function k is applied to a brightness measuring result N originally detected by a detector in such a way, that a corrected brightness measuring result N′ is proportional to a brightness I impinging on the detector.

摘要翻译： 公开了一种可再现地确定对象特性的方法。 这里通过成像光学元件将物体成像到检测器上并在其上检测。 校正函数k被施加到由检测器最初检测到的亮度测量结果N，校正的亮度测量结果N'与入射到检测器上的亮度I成比例。

公开(公告)号：US20080295348A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：US12154785

申请日：2008-05-27

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： G01B11/03

CPC分类号： G01B21/042 ,  G01B11/03

摘要： A method for improving the reproducibility of a coordinate measuring machine and its accuracy is disclosed. Using at least one measuring field of a camera, a plurality of images of at least one structure on the substrate are recorded. The substrate is placed on a measuring stage traversable in the X coordinate direction and the Y coordinate direction, the position of which is determined during imaging using a displacement measuring system. The measuring field is displaced by the amount of the deviation determined.

摘要翻译： 公开了一种用于提高坐标测量机的再现性及其精度的方法。 使用相机的至少一个测量场，记录基板上的至少一个结构的多个图像。 将基板放置在可在X坐标方向和Y坐标方向上横穿的测量台上，其位置在使用位移测量系统的成像期间确定。 测量场被偏移确定的偏差量。

公开(公告)号：US07939789B2

公开(公告)日：2011-05-10

申请号：US12228583

申请日：2008-08-14

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： H01L27/00 ,  G01J1/44

CPC分类号： H04N1/40

摘要： A method for reproducibly determining object characteristics is disclosed. Herein an object is imaged onto a detector by means of an imaging optics and detected thereon. A correction function k is applied to a brightness measuring result N originally detected by a detector in such a way, that a corrected brightness measuring result N′ is proportional to a brightness I impinging on the detector.

摘要翻译： 公开了一种可再现地确定对象特性的方法。 这里通过成像光学元件将物体成像到检测器上并在其上检测。 校正函数k被施加到由检测器最初检测到的亮度测量结果N，校正的亮度测量结果N'与入射到检测器上的亮度I成比例。

公开(公告)号：US20090051932A1

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：US12193095

申请日：2008-08-18

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

IPC分类号： G01B11/14

CPC分类号： G01B11/03

摘要： A method for determining the ideal focus position on different substrates is disclosed. A focus criterion is determined with which the best reproducibility may be achieved. An offset permits the user to set the optimal operating point of the coordinate measuring machine for a reproducible measurement of dimensions of structures on a substrate.

摘要翻译： 公开了一种用于确定不同基底上的理想聚焦位置的方法。 确定可以实现最佳重现性的焦点标准。 偏移允许用户设置坐标测量机的最佳操作点，以便可重复地测量衬底上的结构尺寸。

公开(公告)号：US20090024344A1

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：US12218387

申请日：2008-07-15

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

IPC分类号： G01B21/04

CPC分类号： G01B21/045 ,  G03F1/84

摘要： A method for correcting an error of the imaging system of a coordinate measuring machine is disclosed. The position of at least two different edges of at least one structure on a substrate is measured. The substrate may be automatically rotated into another orientation. Then the position of the at least two different edges of the at least one structure is measured on the rotated substrate. Based on the measurement data, a systematic error of the imaging system is eliminated.

摘要翻译： 公开了一种用于校正坐标测量机的成像系统的误差的方法。 测量衬底上至少一个结构的至少两个不同边缘的位置。 衬底可以自动旋转到另一取向。 然后在旋转的基板上测量至少一个结构的至少两个不同边缘的位置。 基于测量数据，消除了成像系统的系统误差。

公开(公告)号：US07694426B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US12023230

申请日：2008-01-31

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

IPC分类号： G01B5/004 ,  G01B21/04 ,  G06F19/00

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01B21/045

摘要： A method is disclosed for eliminating sources of error in the system correction of a coordinate measuring machine. Herein, a number j of reference structures 33 on a rigid reference object 30 are measured in a starting orientation k=0, and the starting coordinates and the reference coordinates of the reference structures 33 on the reference object 30 are determined in a number k≧3 of mutually different orientations.

摘要翻译： 公开了一种用于消除坐标测量机的系统校正中的误差源的方法。 这里，以起始方向k = 0来测量刚性参考对象30上的参考结构33的数量j，并且确定参考对象30上的参考结构33的起始坐标和参考坐标数k≥ 3相互不同的方向。

公开(公告)号：US20080201971A1

公开(公告)日：2008-08-28

申请号：US12023230

申请日：2008-01-31

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

IPC分类号： G01B5/004

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01B21/045

摘要： A method is disclosed for eliminating sources of error in the system correction of a coordinate measuring machine. Herein, a number j of reference structures 33 on a rigid reference object 30 are measured in a starting orientation k=0, and the starting coordinates and the reference coordinates of the reference structures 33 on the reference object 30 are determined in a number k>3 of mutually different orientations.

摘要翻译： 公开了一种用于消除坐标测量机的系统校正中的误差源的方法。 这里，以起始方位k = 0测量刚性参考对象30上的参考结构33的数量j，并且以参考对象30的参考对象30的参考对象30的参考结构33的起始坐标和参考坐标确定参考结构33的数量k> 3相互不同的方向。

公开(公告)号：US07864319B2

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：US12229087

申请日：2008-08-20

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01M11/0257 ,  G03F1/84

摘要： A coordinate measuring machine (1) including a plane (25a) in which there is arranged a movable measurement table (20) moving the mask (2) correspondingly in the plane (25a), at least one objective (9) and a detector (11), an incident light source (14) arranged to provide incident light and/or a transmitted light source (6) arranged to provide transmitted light, wherein the mask (2) has at least a first area (41) and a second area (42), wherein the first area (41) and the second area (42) comprise different materials differing in their transmission or reflection properties.

摘要翻译： 一种坐标测量机（1），包括平面（25a），其中布置有在平面（25a）中相应地移动掩模（2）的可移动测量台（20），至少一个物镜（9）和检测器 布置成提供入射光的入射光源（14）和/或布置成提供透射光的透射光源（6），其中所述掩模（2）至少具有第一区域（41）和第二区域 （42），其中所述第一区域（41）和所述第二区域（42）包括其透射或反射特性不同的不同材料。

公开(公告)号：US07680616B2

公开(公告)日：2010-03-16

申请号：US12218387

申请日：2008-07-15

申请人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

发明人： Michael Heiden ,  Klaus Rinn

IPC分类号： G01C17/38

CPC分类号： G01B21/045 ,  G03F1/84

摘要： A method for correcting an error of the imaging system of a coordinate measuring machine is disclosed. The position of at least two different edges of at least one structure on a substrate is measured. The substrate may be automatically rotated into another orientation. Then the position of the at least two different edges of the at least one structure is measured on the rotated substrate. Based on the measurement data, a systematic error of the imaging system is eliminated.

摘要翻译： 公开了一种用于校正坐标测量机的成像系统的误差的方法。 测量衬底上至少一个结构的至少两个不同边缘的位置。 衬底可以自动旋转到另一取向。 然后在旋转的基板上测量至少一个结构的至少两个不同边缘的位置。 基于测量数据，消除了成像系统的系统误差。