公开(公告)号：US07864319B2

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：US12229087

申请日：2008-08-20

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01M11/0257 ,  G03F1/84

摘要： A coordinate measuring machine (1) including a plane (25a) in which there is arranged a movable measurement table (20) moving the mask (2) correspondingly in the plane (25a), at least one objective (9) and a detector (11), an incident light source (14) arranged to provide incident light and/or a transmitted light source (6) arranged to provide transmitted light, wherein the mask (2) has at least a first area (41) and a second area (42), wherein the first area (41) and the second area (42) comprise different materials differing in their transmission or reflection properties.

摘要翻译： 一种坐标测量机（1），包括平面（25a），其中布置有在平面（25a）中相应地移动掩模（2）的可移动测量台（20），至少一个物镜（9）和检测器 布置成提供入射光的入射光源（14）和/或布置成提供透射光的透射光源（6），其中所述掩模（2）至少具有第一区域（41）和第二区域 （42），其中所述第一区域（41）和所述第二区域（42）包括其透射或反射特性不同的不同材料。

公开(公告)号：US20090066955A1

公开(公告)日：2009-03-12

申请号：US12229087

申请日：2008-08-20

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus Rinn ,  Frank Laske

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01M11/0257 ,  G03F1/84

摘要： A coordinate measuring machine (1) including a plane (25a) in which there is arranged a movable measurement table (20) moving the mask (2) correspondingly in the plane (25a), at least one objective (9) and a detector (11), an incident light source (14) arranged to provide incident light and/or a transmitted light source (6) arranged to provide transmitted light, wherein the mask (2) has at least a first area (41) and a second area (42), wherein the first area (41) and the second area (42) comprise different materials differing in their transmission or reflection properties.

摘要翻译： 一种坐标测量机（1），包括平面（25a），其中布置有在平面（25a）中相应地移动掩模（2）的可移动测量台（20），至少一个物镜（9）和检测器 布置成提供入射光的入射光源（14）和/或布置成提供透射光的透射光源（6），其中所述掩模（2）至少具有第一区域（41）和第二区域 （42），其中所述第一区域（41）和所述第二区域（42）包括其透射或反射特性不同的不同材料。

公开(公告)号：US20090033508A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：US12221145

申请日：2008-07-31

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Fricke ,  Michael Heiden

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Fricke ,  Michael Heiden

IPC分类号： G01B11/03 ,  G08B21/00

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B9/02052 ,  G03F7/70616

摘要： A system and a method for determining positions of structures on a substrate are disclosed. The system includes at least one measurement table (20) movable in the X-coordinate direction and in the Y-coordinate direction, a measurement objective (9) and a camera for determining the positions of the structures (3) on the substrate (2). The position of the measurement objective (9) and/or the measurement table (20) may be determined by at least one interferometer (24). The system is surrounded by a housing representing a climatic chamber (50) provided with an active pressure regulation.

摘要翻译： 公开了一种用于确定衬底上的结构位置的系统和方法。 该系统包括至少一个在X坐标方向和Y坐标方向上可移动的测量台（20），用于确定基板（2）上的结构（3）的位置的测量目标（9）和相机 ）。 测量目标（9）和/或测量表（20）的位置可以由至少一个干涉仪（24）确定。 该系统由表示具有主动压力调节的气候室（50）的壳体包围。

公开(公告)号：US20060274934A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：US11405937

申请日：2006-04-18

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Walter Steinberg

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Walter Steinberg

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G01B9/04 ,  G02B21/365 ,  G03F1/84 ,  G03F7/70625

摘要： A method and an apparatus are disclosed, whereby an improvement of the measuring accuracy in the determination of structural data is facilitated. A first detector unit (15a) is provided for receiving the light reflected or transmitted by structures applied on the microscopic component (2). A second detector (15b) is provided for detecting the illumination intensity emitted by the at least one light source, and a computer (18) for determining the structural data from the light received by the first detector unit (15a) and the second detector (15).

摘要翻译： 公开了一种方法和装置，由此有助于提高结构数据的确定中的测量精度。 提供第一检测器单元（15a）用于接收由施加在微观组件（2）上的结构反射或透射的光。 提供第二检测器（15b），用于检测由至少一个光源发射的照射强度;以及计算机（18），用于根据由第一检测器单元（15a）接收的光确定结构数据，第二检测器 检测器（15）。

公开(公告)号：US20090031572A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：US12220808

申请日：2008-07-29

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

IPC分类号： G01B5/008

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B9/02052 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/681

摘要： A coordinate measuring machine (1) for measuring structures (3) on a substrate (2) including a measurement table (20) movable in the X-coordinate direction and in the Y-coordinate direction, a measurement objective (9), at least one laser interferometer (24) for determining the position of the measurement table (20) and the measurement objective (9) wherein the measurement table (20), the measurement objective (9) and the at least one laser interferometer (24) are arranged in a vacuum chamber (50).

摘要翻译： 一种用于在基板（2）上测量结构（3）的坐标测量机（1），包括：在X坐标方向和Y坐标方向上可移动的测量台（20），至少测量目标 一个用于确定测量表（20）和测量目标（9）的位置的激光干涉仪（24），其中测量表（20），测量目标（9）和至少一个激光干涉仪（24）被布置 在真空室（50）中。

公开(公告)号：US20090066970A1

公开(公告)日：2009-03-12

申请号：US12154051

申请日：2008-05-20

申请人： Gerd Scheuring ,  Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Sulik ,  Michael Heiden ,  Walter Steinberg

发明人： Gerd Scheuring ,  Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Sulik ,  Michael Heiden ,  Walter Steinberg

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/02

摘要： A method and a device for improving the measurement accuracy in the nm range for optical systems are disclosed. The object is provided with a plurality of structures oriented in the X and Y-coordinate direction. The light beam coming from at least one light source defines an optical illumination path.

摘要翻译： 公开了一种用于提高光学系统的nm范围内的测量精度的方法和装置。 该物体具有在X和Y坐标方向上定向的多个结构。 来自至少一个光源的光束限定光学照明路径。

公开(公告)号：US08154595B2

公开(公告)日：2012-04-10

申请号：US12023222

申请日：2008-01-31

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

IPC分类号： H04N7/18 ,  G06K9/00 ,  G01B11/14

CPC分类号： G01B21/045 ,  G01N2021/95676 ,  G03F1/84 ,  H01J2237/24592

摘要： What is disclosed is a device (1) for automatic detection of a possible incorrect measurement, wherein the device (1) comprises at least one reflected light illumination apparatus (14) and/or a transmitted light illumination apparatus (6) and at least one imaging optical system (9) and one detector (11) of a camera (10) for imaging structures (3) on a substrate (2), wherein a first program portion (17) is linked to the detector (11) of the camera (10), said detector being provided for determining the position and/or dimension of the structure (3) on the substrate (2), wherein the device (1) determines and records a plurality of measurement variables Mj, jε{1, . . . , L}, from which at least one variable G can be determined, wherein a second program portion (18) is linked to the detector (11) of the camera (10), said program portion calculating an analysis of the measurement variables Mj with regard to a possible incorrect measurement. Also disclosed is a method for automatic detection of a possible incorrect measurement wherein an analysis of the measurement variables Mj with regard to a possible incorrect measurement is calculated with a second program portion (18) which is linked to the detector (11) of the camera (10).

摘要翻译： 所公开的是用于自动检测可能的不正确测量的装置（1），其中装置（1）包括至少一个反射光照明装置（14）和/或透射光照明装置（6）和至少一个 成像光学系统（9）和相机（10）的一个检测器（11），用于在基板（2）上成像结构（3），其中第一程序部分（17）连接到相机的检测器（11） （10），所述检测器被提供用于确定所述基板（2）上的所述结构（3）的位置和/或尺寸，其中所述装置（1）确定并记录多个测量变量Mj，j＆egr; {1， 。 。 。 ，L}，其中可以确定至少一个变量G，其中第二程序部分（18）链接到摄像机（10）的检测器（11），所述程序部分计算测量变量Mj的分析， 考虑到可能的不正确的测量。 还公开了一种用于自动检测可能的不正确测量的方法，其中使用连接到相机的检测器（11）的第二程序部分（18）计算关于可能的不正确测量的测量变量Mj的分析， （10）。

公开(公告)号：US07978340B2

公开(公告)日：2011-07-12

申请号：US12221145

申请日：2008-07-31

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Fricke ,  Michael Heiden

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Wolfgang Fricke ,  Michael Heiden

IPC分类号： G01B11/02 ,  G08B21/00

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B9/02052 ,  G03F7/70616

摘要： A system and a method for determining positions of structures on a substrate are disclosed. The system includes at least one measurement table (20) movable in the X-coordinate direction and in the Y-coordinate direction, a measurement objective (9) and a camera for determining the positions of the structures (3) on the substrate (2). The position of the measurement objective (9) and/or the measurement table (20) may be determined by at least one interferometer (24). The system is surrounded by a housing representing a climatic chamber (50) provided with an active pressure regulation.

摘要翻译： 公开了一种用于确定衬底上的结构位置的系统和方法。 该系统包括至少一个在X坐标方向和Y坐标方向上可移动的测量台（20），用于确定基板（2）上的结构（3）的位置的测量目标（9）和相机 ）。 测量目标（9）和/或测量表（20）的位置可以由至少一个干涉仪（24）确定。 该系统由表示具有主动压力调节的气候室（50）的壳体包围。

公开(公告)号：US07961334B2

公开(公告)日：2011-06-14

申请号：US12220808

申请日：2008-07-29

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B9/02052 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/681

摘要： A coordinate measuring machine (1) for measuring structures (3) on a substrate (2) including a measurement table (20) movable in the X-coordinate direction and in the Y-coordinate direction, a measurement objective (9), at least one laser interferometer (24) for determining the position of the measurement table (20) and the measurement objective (9) wherein the measurement table (20), the measurement objective (9) and the at least one laser interferometer (24) are arranged in a vacuum chamber (50).

摘要翻译： 一种用于在基板（2）上测量结构（3）的坐标测量机（1），包括：在X坐标方向和Y坐标方向上可移动的测量台（20），至少测量目标 一个用于确定测量表（20）和测量目标（9）的位置的激光干涉仪（24），其中测量表（20），测量目标（9）和至少一个激光干涉仪（24）被布置 在真空室（50）中。

公开(公告)号：US20080202201A1

公开(公告)日：2008-08-28

申请号：US12023222

申请日：2008-01-31

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Michael Heiden ,  Klaus-Dieter Adam

IPC分类号： G01B21/00

CPC分类号： G01B21/045 ,  G01N2021/95676 ,  G03F1/84 ,  H01J2237/24592

摘要： What is disclosed is a device (1) for automatic detection of a possible incorrect measurement, wherein the device (1) comprises at least one reflected light illumination apparatus (14) and/or a transmitted light illumination apparatus (6) and at least one imaging optical system (9) and one detector (11) of a camera (10) for imaging structures (3) on a substrate (2), wherein a first program portion (17) is linked to the detector (11) of the camera (10), said detector being provided for determining the position and/or dimension of the structure (3) on the substrate (2), wherein the device (1) determines and records a plurality of measurement variables Mj, j ε {1, . . . , L}, from which at least one variable G can be determined, wherein a second program portion (18) is linked to the detector (11) of the camera (10), said program portion calculating an analysis of the measurement variables Mj with regard to a possible incorrect measurement. Also disclosed is a method for automatic detection of a possible incorrect measurement wherein an analysis of the measurement variables Mj with regard to a possible incorrect measurement is calculated with a second program portion (18) which is linked to the detector (11) of the camera (10).

摘要翻译： 所公开的是用于自动检测可能的不正确测量的装置（1），其中装置（1）包括至少一个反射光照明装置（14）和/或透射光照明装置（6）和至少一个 成像光学系统（9）和相机（10）的一个检测器（11），用于在基板（2）上成像结构（3），其中第一程序部分（17）连接到相机的检测器（11） （10），所述检测器被提供用于确定所述基板（2）上的结构（3）的位置和/或尺寸，其中所述装置（1）确定并记录多个测量变量M SUB>，j epsilon {1，... 。 。 ，L}，其中可以确定至少一个变量G，其中第二程序部分（18）链接到相机（10）的检测器（11），所述程序部分计算测量变量M' 关于可能的不正确测量的SUB> j 。 还公开了一种用于自动检测可能的不正确测量的方法，其中使用第二程序部分（18）计算关于可能的不正确测量的测量变量M SUB的分析，该第二程序部分（18）被链接到 相机（10）的检测器（11）。