公开(公告)号：US20090173896A1

公开(公告)日：2009-07-09

申请号：US11720638

申请日：2005-11-29

申请人： Michael Loeken ,  Jakob Willi Neff ,  Juergen Klen ,  Sven Probst

发明人： Michael Loeken ,  Jakob Willi Neff ,  Juergen Klen ,  Sven Probst

IPC分类号： G01J3/10 ,  H05G2/00

CPC分类号： H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916

摘要： The present invention relates to a method of operating an electrical discharge device (12) comprising at least one first electrode (14) and at least one second electrode (16) at a distance therefrom, which electrodes are electrically connected to a power supply (18) and, upon ignition of a first gas discharge (22) between the electrodes (14, 16), transmit an electrical current (1), as a result of which a plasma (24) is produced in a working gas (26), which plasma emits radiation (28), in particular extreme ultraviolet and/or soft X-ray radiation, which is passed via a solid angle (30) into a chamber (32) outside the electrodes (14, 16). In order to prevent erosion at the electrodes (14, 16), it is proposed that the formation of a secondary plasma (34) in the chamber (32) is suppressed by a device (42).

摘要翻译： 本发明涉及一种操作放电装置（12）的方法，该放电装置包括至少一个第一电极（14）和至少一个第二电极（16），该电极与电源（18）电连接 ），并且在电极（14,16）之间的第一气体放电（22）点燃时，传输电流（1），结果在工作气体（26）中产生等离子体（24）， 该等离子体发射辐射（28），特别是经由立体角（30）通过电极（14,16）外部的室（32）中的极紫外线和/或软X射线辐射。 为了防止电极（14,16）的侵蚀，建议通过装置（42）抑制在室（32）中形成二级等离子体（34）。

公开(公告)号：US08227777B2

公开(公告)日：2012-07-24

申请号：US11720638

申请日：2005-11-29

申请人： Michael Loeken ,  Jakob Willi Neff ,  Juergen Klein ,  Sven Probst

发明人： Michael Loeken ,  Jakob Willi Neff ,  Juergen Klein ,  Sven Probst

IPC分类号： A61N2/00

CPC分类号： H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916

摘要： The present invention relates to a method of operating an electrical discharge device (12) comprising at least one first electrode (14) and at least one second electrode (16) at a distance therefrom, which electrodes are electrically connected to a power supply (18) and, upon ignition of a first gas discharge (22) between the electrodes (14, 16), transmit an electrical current (I), as a result of which a plasma (24) is produced in a working gas (26), which plasma emits radiation (28), in particular extreme ultraviolet and/or soft X-ray radiation, which is passed via a solid angle (30) into a chamber (32) outside the electrodes (14, 16). In order to prevent erosion at the electrodes (14, 16), it is proposed that the formation of a secondary plasma (34) in the chamber (32) is suppressed by a device (42).

摘要翻译： 本发明涉及一种操作放电装置（12）的方法，该放电装置包括至少一个第一电极（14）和至少一个第二电极（16），该电极与电源（18）电连接 ），并且在点燃电极（14,16）之间的第一气体放电（22）时，传输电流（I），结果在工作气体（26）中产生等离子体（24）， 该等离子体发射辐射（28），特别是经由立体角（30）通过电极（14,16）外部的室（32）中的极紫外和/或软X射线辐射。 为了防止电极（14,16）的侵蚀，建议通过装置（42）抑制在室（32）中形成二级等离子体（34）。