公开(公告)号：US20150098773A1

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：US14569835

申请日：2014-12-15

申请人： Mike RICE ,  Jeffrey HUDGENS ,  Charles CARLSON ,  William Tyler WEAVER ,  Robert LOWRANCE ,  Eric ENGLHARDT ,  Dean C. HRUZEK ,  Dave SILVETTI ,  Michael KUCHAR ,  Kirk VAN KATWYK ,  Van HOSKINS ,  Vinay SHAH

发明人： Mike RICE ,  Jeffrey HUDGENS ,  Charles CARLSON ,  William Tyler WEAVER ,  Robert LOWRANCE ,  Eric ENGLHARDT ,  Dean C. HRUZEK ,  Dave SILVETTI ,  Michael KUCHAR ,  Kirk VAN KATWYK ,  Van HOSKINS ,  Vinay SHAH

IPC分类号： B25J11/00 ,  B25J18/00

CPC分类号： B25J11/008 ,  B25J18/00 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/135

摘要： A method and apparatus for processing substrates using a multi-chamber processing system, or cluster tool, is provided. In one embodiment of the invention, a robot assembly is provided. The robot assembly includes a first motion assembly movable in a first direction, and a second motion assembly, the second motion assembly being coupled to the first motion assembly and being movable relative to the first motion assembly in a second direction that is generally orthogonal to the first direction. The robot assembly further comprises an enclosure disposed in one of the first motion assembly or the second motion assembly, the enclosure containing at least a portion of a vertical actuator assembly, a support plate coupled to the enclosure, and a first transfer robot disposed on the support plate.

摘要翻译： 提供了一种使用多室处理系统或集群工具处理衬底的方法和装置。 在本发明的一个实施例中，提供了机器人组件。 所述机器人组件包括可在第一方向上移动的第一运动组件和第二运动组件，所述第二运动组件联接到所述第一运动组件，并且可相对于所述第一运动组件在大致正交于所述第一运动组件的第二方向上移动 第一个方向 所述机器人组件还包括设置在所述第一运动组件或所述第二运动组件中的一个中的外壳，所述外壳包含垂直致动器组件的至少一部分，联接到所述外壳的支撑板和设置在所述第二运动组件上的第一传送机器人 支撑板

公开(公告)号：US20120141237A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：US13305539

申请日：2011-11-28

申请人： Mike RICE ,  Jeffrey HUDGENS ,  Charles CARLSON ,  William Tyler WEAVER ,  Robert LOWRANCE ,  Eric ENGLHARDT ,  Dean C. HRUZEK ,  Dave SILVETTI ,  Michael KUCHAR ,  Kirk Van KATWYK ,  Van HOSKINS ,  Vinay SHAH

发明人： Mike RICE ,  Jeffrey HUDGENS ,  Charles CARLSON ,  William Tyler WEAVER ,  Robert LOWRANCE ,  Eric ENGLHARDT ,  Dean C. HRUZEK ,  Dave SILVETTI ,  Michael KUCHAR ,  Kirk Van KATWYK ,  Van HOSKINS ,  Vinay SHAH

IPC分类号： B65G47/90

CPC分类号： B25J11/008 ,  B25J18/00 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/135

摘要： A method and apparatus for processing substrates using a multi-chamber processing system, or cluster tool, is provided. In one embodiment of the invention, a robot assembly is provided. The robot assembly includes a first motion assembly movable in a first direction, and a second motion assembly, the second motion assembly being coupled to the first motion assembly and being movable relative to the first motion assembly in a second direction that is generally orthogonal to the first direction. The robot assembly further comprises an enclosure disposed in one of the first motion assembly or the second motion assembly, the enclosure containing at least a portion of a vertical actuator assembly, a support plate coupled to the enclosure, and a first transfer robot disposed on the support plate.

摘要翻译： 提供了一种使用多室处理系统或集群工具处理衬底的方法和装置。 在本发明的一个实施例中，提供了机器人组件。 所述机器人组件包括可在第一方向上移动的第一运动组件和第二运动组件，所述第二运动组件联接到所述第一运动组件，并且可相对于所述第一运动组件在大致正交于所述第一运动组件的第二方向上移动 第一个方向 所述机器人组件还包括设置在所述第一运动组件或所述第二运动组件中的一个中的外壳，所述外壳包含垂直致动器组件的至少一部分，联接到所述外壳的支撑板和设置在所述第二运动组件上的第一传送机器人 支撑板