公开(公告)号：US20060240189A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11246063

申请日：2005-10-11

申请人： Ming-Der Ger ,  Yuh Sung ,  Yih-Ming Liu ,  Mei-Jiun Shie ,  Han-Tao Wang

发明人： Ming-Der Ger ,  Yuh Sung ,  Yih-Ming Liu ,  Mei-Jiun Shie ,  Han-Tao Wang

IPC分类号： B05D1/18 ,  C23C16/00

CPC分类号： C25D11/30

摘要： The present invention relates to a low-temperature method for forming carbon nanotubes, which mainly includes preparing a co-catalyst of composite metal particles on a substrate, and growing carbon nanotubes on the substrate by a thermal CVD process at 400° C. The present invention uses a non-isothermal deposition (NITD) and a metal chemical substitution reaction to prepare the co-catalyst particles on the substrate.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于形成碳纳米管的低温方法，其主要包括在基材上制备复合金属颗粒的助催化剂，并在400℃下通过热CVD法在基板上生长碳纳米管。本发明 本发明使用非等温沉积（NITD）和金属化学取代反应来制备底物上的助催化剂颗粒。