公开(公告)号：US06680155B2

公开(公告)日：2004-01-20

申请号：US10328014

申请日：2002-12-26

申请人： Mitsuo Hagihara ,  Toshiaki Tachi ,  Kenji Maruyama

发明人： Mitsuo Hagihara ,  Toshiaki Tachi ,  Kenji Maruyama

IPC分类号： G03F7023

CPC分类号： G03F7/022

摘要： A composition includes (A) an alkali-soluble resin; and (B) (b-1) a compound of Formula (I): wherein Ds are each a hydrogen atom or a naphthoquinonediazidosulfonyl group; and (b2) a quinonediazide ester of, for example, bis(2-methyl-4-hydroxy-5-cyclohexylphenyl)-3,4-dihydroxyphenylmethane.

摘要翻译： 组合物包括（A）碱溶性树脂; 和（B）（b-1）式（I）的化合物：其中Ds各自为氢原子或萘醌二叠氮基磺酰基; 和（b2）例如双（2-甲基-4-羟基-5-环己基苯基）-3,4-二羟基苯基甲烷的醌二叠氮化物酯。

公开(公告)号：US06630279B2

公开(公告)日：2003-10-07

申请号：US10327361

申请日：2002-12-26

申请人： Mitsuo Hagihara ,  Toshiaki Tachi ,  Kenji Maruyama

发明人： Mitsuo Hagihara ,  Toshiaki Tachi ,  Kenji Maruyama

IPC分类号： G03F7023

CPC分类号： G03F7/022

摘要： A composition includes (A) an alkali-soluble resin; and (B) (b-1) a compound of Formula (I): wherein Ds are each a hydrogen atom or a naphthoquinonediazidosulfonyl group; and (b2) a quinonediazide ester of, for example, methyl gallate.

摘要翻译： 组合物包括（A）碱溶性树脂; 和（B）（b-1）式（I）的化合物：其中Ds各自为氢原子或萘醌二叠氮基磺酰基; 和（b2）例如没食子酸甲酯的醌二叠氮化物酯。

公开(公告)号：US06730769B2

公开(公告)日：2004-05-04

申请号：US10135769

申请日：2002-05-01

申请人： Akira Katano ,  Mitsuo Hagihara ,  Ken Miyagi ,  Toshiaki Tachi

发明人： Akira Katano ,  Mitsuo Hagihara ,  Ken Miyagi ,  Toshiaki Tachi

IPC分类号： C08G1404

CPC分类号： C08L61/14 ,  C08G8/04 ,  C08G8/28 ,  C08L61/06

摘要： (i) As a primary reaction, m-cresol is allowed to react with propionaldehyde in the presence of an acid catalyst and thereby yields a polymer having a weight average molecular weight Mw of 200 to 500 and a molecular weight distribution Mw/Mn of 1.7 or less, and (ii) as a secondary reaction, the polymer is allowed to react with 3,4-xylenol and formaldehyde and thereby yields a novolak resin having an Mw of 1000 to 20000. By adding a specific photosensitizer, the novolak resin yields a positive photoresist composition.

摘要翻译： （i）作为主要反应，使间甲酚在酸催化剂存在下与丙醛反应，由此得到重均分子量Mw为200〜500，分子量分布Mw / Mn为1.7的聚合物 或更少，和（ii）作为二次反应，使聚合物与3,4-二甲苯酚和甲醛反应，从而得到Mw为1000-20000的酚醛清漆树脂。通过加入特定的光敏剂，酚醛清漆树脂产生 正性光致抗蚀剂组合物。