公开(公告)号：US20110143480A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12636704

申请日：2009-12-11

申请人： Mohamed M. Hilali ,  Murali Venkatesan ,  Gopal Prabhu ,  Zhiyong Li

发明人： Mohamed M. Hilali ,  Murali Venkatesan ,  Gopal Prabhu ,  Zhiyong Li

IPC分类号： H01L21/322

CPC分类号： H01L21/324 ,  H01L31/056 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0747 ,  H01L31/1864 ,  H01L31/1872 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： A cleave plane is defined in a semiconductor donor body by implanting ions into the wafer. A lamina is cleaved from the donor body, and a photovoltaic cell is formed which comprises the lamina. The implant may cause some damage to the crystal structure of the lamina. This damage can be repaired by annealing the lamina using microwave energy. If the lamina is bonded to a receiver element, the receiver element may be either transparent to microwaves, or may reflect microwaves, while the semiconductor material absorbs the microwaves. In this way the lamina can be annealed at high temperature while the receiver element remains cooler.

摘要翻译： 通过将离子注入到晶片中来限定半导体施主体中的解理平面。 从供体体上切下薄片，形成包含薄片的光伏电池。 植入物可能会对晶片的晶体结构造成一定的损害。 这种损伤可以通过使用微波能量退火层来修复。 如果薄片结合到接收器元件，接收器元件可以对微波是透明的，或者可以反射微波，同时半导体材料吸收微波。 以这种方式，层板可以在高温下退火，同时接收器元件保持冷却。