公开(公告)号：US4991964A

公开(公告)日：1991-02-12

申请号：US237603

申请日：1988-08-26

申请人： Moody K. Forgey ,  Santos Garza

发明人： Moody K. Forgey ,  Santos Garza

IPC分类号： G01B11/16

CPC分类号： G01B11/16

摘要： In semiconductor processing, it is desirable to protectively cover the wafer (40) prior to sawing the wafer (40) into individual chips. The compressive nitride protective cover tends to bow the normally flat surface of the wafer (40). If the compressive stress is too great, the wafer (40) and the circuits thereon may be damaged. The laser stress measurement apparatus (10) provides a method for checking the wafer (40) for excess stress without destroying the wafer (40). A light source (12) emits a beam of light onto a reflector (22) which reflects the light onto wafer (40). The light is deflected by wafer (40) back to the reflector (22) and thence to a light detector (52). The light detector (52) is positioned to receive the light in an exact center such that subsequent readings may be taken to determine a change in deflection. The change in deflection is then used in a formula to determine the compressive stress on wafer (40).

摘要翻译： 在半导体处理中，期望在将晶片（40）锯切成单个芯片之前保护性地覆盖晶片（40）。 压缩氮化物保护罩倾向于使晶片（40）的正常平坦表面弯曲。 如果压缩应力太大，则晶片（40）及其上的电路可能被损坏。 激光应力测量装置（10）提供了用于在不破坏晶片（40）的情况下检查晶片（40）的过度应力的方法。 光源（12）将光束发射到将光反射到晶片（40）上的反射器（22）上。 光被晶片（40）偏转回到反射器（22），从而被光检测器（52）偏转。 光检测器（52）被定位成在准确的中心接收光，使得可以采用随后的读数来确定偏转的变化。 然后在公式中使用偏转的变化来确定晶片（40）上的压缩应力。

公开(公告)号：US5420435A

公开(公告)日：1995-05-30

申请号：US110042

申请日：1993-08-20

申请人： Santos Garza

发明人： Santos Garza

IPC分类号： H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31701

摘要： A beam of radiant energy 50, 64 intersects a beam of ions 26 proximate the target 30 of the ions to force entrained contaminants out of the ion beam. The radiant beam of photons 50, 64 thus act as a filter for contaminants in the beam of ions.

摘要翻译： 一束辐射能50,64与靠近离子靶30的离子束26相交，迫使夹带的污染物离开离子束。 因此，光子50,64的辐射束用作离子束中的污染物的过滤器。

公开(公告)号：US6097296A

公开(公告)日：2000-08-01

申请号：US138937

申请日：1998-08-24

申请人： Santos Garza ,  Cloves Rinn Cleavelin

发明人： Santos Garza ,  Cloves Rinn Cleavelin

IPC分类号： G01W1/00

CPC分类号： G01W1/00

摘要： A tornado detector comprising a sensor (30) for sensing the presence of sound having a frequency of about one hertz and for providing a sound sense signal in response thereto, a filter (50) to attenuate said sound sense signal wave components having frequencies greater than those which correspond to sound having a frequency of about one hertz, and an alarm (101) for generating an alarm signal in response to said filtered sound sense signal.

摘要翻译： 一种龙卷风检测器，包括用于感测具有大约1赫兹频率的声音的传感器的传感器（30），并且用于响应于此提供声音感测信号;滤波器（50），用于衰减所述声音感测信号波分量的频率大于 对应于具有大约1赫兹频率的声音的那些，以及用于响应于所述滤波的声音感测信号产生报警信号的报警器（101）。