公开(公告)号：US09576738B2

公开(公告)日：2017-02-21

申请号：US14543146

申请日：2014-11-17

Applicant: NXP B.V.

Inventor： Peter G. Steeneken ,  Klaus Reimann

IPC: H01G7/06 ,  H01G5/16 ,  H03J5/24 ,  H01G5/013 ,  H01G5/00

CPC classification number: H01G5/16 ,  H01G5/013 ,  H01G5/0136 ,  H01G7/06 ,  H01G2005/02 ,  H03J5/248

Abstract: A capacitive MEMS structure comprising first and second opposing capacitor electrode arrangements, wherein at least one of the electrode arrangements is movable, and a dielectric material located adjacent to the second electrode arrangement, wherein the second electrode arrangement is patterned such that it includes electrode areas and spaces adjacent to the electrode areas, and wherein the dielectric material extends at least partially in or over the spaces.

Abstract translation: 一种电容MEMS结构，包括第一和第二相对电容器电极布置，其中至少一个电极布置是可移动的，以及位于第二电极布置附近的介电材料，其中第二电极布置被图案化，使得其包括电极区域和 与电极区域相邻的空间，并且其中电介质材料至少部分地在空间中或上方延伸。