公开(公告)号：US4159276A

公开(公告)日：1979-06-26

申请号：US937837

申请日：1978-08-29

申请人： Nitin V. Desai ,  Richard J. Himics

发明人： Nitin V. Desai ,  Richard J. Himics

IPC分类号： C07F7/20

CPC分类号： C07F7/20

摘要： A method of purifying methyl alkyl siloxane lubricants of the formula ##STR1## wherein R is an alkyl group of 4-20 carbon atoms and x is an integer which comprises multiply extracting with acetone.

摘要翻译： 一种净化式“IMAGE”的甲基烷基硅氧烷润滑剂的方法，其中R是4-20个碳原子的烷基，x是包含用丙酮多次提取的整数。

公开(公告)号：US4286050A

公开(公告)日：1981-08-25

申请号：US171050

申请日：1980-07-22

申请人： Richard J. Himics ,  Michael Kaplan ,  Nitin V. Desai

发明人： Richard J. Himics ,  Michael Kaplan ,  Nitin V. Desai

IPC分类号： G03F7/038 ,  G03C5/00 ,  G03C1/71

CPC分类号： G03F7/038

摘要： Homopolymers of 1-aza-5-acryloxymethyl-3,7-dioxabicyclo[3.3.0]octane are useful as resists for recording information patterns having high sensitivity and excellent contrast between exposed and unexposed areas.

摘要翻译： 1-氮杂-5-丙烯酰氧基甲基-3,7-二氧杂二环[3.3.0]辛烷的均聚物可用作记录具有高曝光和未曝光区域之间的极好对比度的信息图案的抗蚀剂。

公开(公告)号：US4252886A

公开(公告)日：1981-02-24

申请号：US959847

申请日：1978-11-13

申请人： Richard J. Himics ,  Michael Kaplan ,  Nitin V. Desai

发明人： Richard J. Himics ,  Michael Kaplan ,  Nitin V. Desai

IPC分类号： G03F7/038 ,  G03C1/68

CPC分类号： G03F7/038

摘要： Homopolymers of 1-aza-5-acryloxymethyl-3,7-dioxa-bicyclo[3.3.0]octane are useful as resists for recording information patterns having high sensitivity and excellent contrast between exposed and unexposed areas.

摘要翻译： 1-氮杂-5-丙烯酰氧基甲基-3,7-二氧杂双环[3.3.0]辛烷的均聚物可用作用于记录具有高敏感度和曝光区域与未曝光区域之间优异对比度的信息图案的抗蚀剂。