公开(公告)号：US20130279307A1

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：US13917975

申请日：2013-06-14

Applicant: Nivarox-FAR S.A.

Inventor： Jean-Charles Fiaccabrino ,  Marco Verardo ,  Thierry Conus ,  Jean-Philippe Thiebaud ,  Jean-Bernard Peters

IPC: F16H55/06 ,  G04B13/02

CPC classification number: F16H55/06 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0197 ,  C25D1/08 ,  C25D5/02 ,  C25D5/10 ,  G04B13/02 ,  G04B13/022 ,  G04B19/042 ,  Y10T74/1987

Abstract: The invention relates to a method (1) of manufacturing a silicon-metal composite micromechanical component (51) combining DRIE and LIGA processes. The invention also relates to a micromechanical component (51) including a layer wherein one part (53) is made of silicon and another part (41) of metal so as to form a composite micromechanical component (51). The invention concerns the field of timepiece movements.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造组合DRIE和LIGA工艺的硅 - 金属复合微机械部件（51）的方法（1）。 本发明还涉及一种包括其中一部分（53）由硅制成的层和金属的另一部分（41）的层的微机械部件（51），以便形成复合微机械部件（51）。 本发明涉及钟表运动领域。