公开(公告)号：US6067388A

公开(公告)日：2000-05-23

申请号：US352409

申请日：1999-07-14

申请人： Norbert Fabricius ,  Wolfgang Foss ,  Martin Wolff ,  Uwe Hollenbach ,  Uwe Seiberth

发明人： Norbert Fabricius ,  Wolfgang Foss ,  Martin Wolff ,  Uwe Hollenbach ,  Uwe Seiberth

IPC分类号： G02B6/122 ,  B01J47/00 ,  C03C15/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/34

CPC分类号： G02B6/12011 ,  G02B6/12014 ,  G02B6/12016 ,  G02B6/125

摘要： The invention is directed to a method for making integrated optical components having strip waveguides (11 to 15; 21 to 2M) and a layer waveguide 53. A mask 4 having a lattice structure 3i functions to generate the layer waveguide 53 via ion exchange. The method of the invention is suitable for making couplers having free spaces with low attenuation and is especially suitable for arrayed waveguide grating multiplexers. The invention also is directed to an integrated optical component made pursuant to the method of the invention.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造具有带状波导（11至15; 21至2M）和层波导53的集成光学部件的方法。具有晶格结构3i的掩模4用于通过离子交换产生层波导53。 本发明的方法适用于制造具有低衰减自由空间的耦合器，并且特别适用于阵列波导光栅复用器。 本发明还涉及根据本发明的方法制造的集成光学部件。